公开(公告)号：CN119635725B

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202510180974.0

申请日：2025-02-19

Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司

Inventor： 吴贵阳 ,  罗志长 ,  周颖达

IPC: B25J19/00 ,  B25J15/06 ,  B25J9/04 ,  B07C5/36 ,  B25J19/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  G01B11/00 ,  G01L5/00 ,  G01B21/02

Abstract: 本发明公开了一种多工位摆臂吸嘴机构测量和调整方法，涉及半导体分选吸嘴受力测量的技术领域，并公开了用于实施一种多工位摆臂吸嘴机构测量和调整方法的装置，其中一种多工位摆臂吸嘴机构测量和调整方法包括包括如下步骤：测量第一个吸嘴的#imgabs0#，调节第二螺丝和第二螺母，使#imgabs1#满足要求；采集数据并通过计算获取第二螺丝和摆臂分离时的吸嘴推力#imgabs2#，调节第一螺丝和第一螺母，使#imgabs3#满足要求；使用相机观察第一个吸嘴的中心坐标#imgabs4#，调节吸嘴位置使中心坐标#imgabs5#满足要求。本发明的一种多工位摆臂吸嘴机构测量和调整方法能够减小多工位摆臂吸嘴机构中各个摆臂吸嘴组件的差异，保证分选质量稳定。

公开(公告)号：CN119635725A

公开(公告)日：2025-03-18

申请号：CN202510180974.0

申请日：2025-02-19

Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司

Inventor： 吴贵阳 ,  罗志长 ,  周颖达

IPC: B25J19/00 ,  B25J15/06 ,  B25J9/04 ,  B07C5/36 ,  B25J19/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  G01B11/00 ,  G01L5/00 ,  G01B21/02

Abstract: 本发明公开了一种多工位摆臂吸嘴机构测量和调整方法，涉及半导体分选吸嘴受力测量的技术领域，并公开了用于实施一种多工位摆臂吸嘴机构测量和调整方法的装置，其中一种多工位摆臂吸嘴机构测量和调整方法包括包括如下步骤：测量第一个吸嘴的#imgabs0#，调节第二螺丝和第二螺母，使#imgabs1#满足要求；采集数据并通过计算获取第二螺丝和摆臂分离时的吸嘴推力#imgabs2#，调节第一螺丝和第一螺母，使#imgabs3#满足要求；使用相机观察第一个吸嘴的中心坐标#imgabs4#，调节吸嘴位置使中心坐标#imgabs5#满足要求。本发明的一种多工位摆臂吸嘴机构测量和调整方法能够减小多工位摆臂吸嘴机构中各个摆臂吸嘴组件的差异，保证分选质量稳定。

公开(公告)号：CN222460564U

公开(公告)日：2025-02-11

申请号：CN202421011259.1

申请日：2024-05-10

Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司

Inventor： 周颖达 ,  罗志长

IPC: G01B5/245

Abstract: 本实用新型公开了一种垂直度检测装置，包括安装座、连接组件、基准件及测量组件，安装座用于与晶粒分选机的运动平台固定连接，连接组件可转动地设于安装座，基准件设于连接组件，基准件具有第一测量面和第二测量面，第一测量面与第二测量面垂直设置，测量组件设于安装座与连接组件之间，测量组件能够驱动连接组件相对安装座转动，以测量运动平台的X轴与Z轴的垂直度，操作简单，方便快捷，能够准确且高效地检测运动平台的X轴与Z轴的垂直度。