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公开(公告)号：CN117110756A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202311128772.9
申请日：2023-08-31
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种防氧化测试装置及防氧化测试方法。本发明的防氧化测试装置包括基座和测试座，基座用于放置待测件，待测件上具有多个沿第二方向排布的测试行，测试行具有多个沿第一方向排布的被测单元；测试座设置有探针和喷嘴，探针用于与被测单元接触，喷嘴用于喷出防护液，喷嘴与探针随测试座同步运动，测试座能够相对于基座沿第一方向移动，以切换探针和喷嘴对应的被测单元，测试座还能够相对于基座沿第二方向移动，以切换探针和喷嘴对应的测试行；喷嘴设置于探针的上游，以使各被测单元经过喷嘴后移动至探针处进行测试。该装置针对单个被测单元喷涂后能够及时进行测试，降低了因为防护液挥发导致打火氧化的概率。
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公开(公告)号：CN221484043U
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202323206003.4
申请日：2023-11-24
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开一种多层芯片墨点烘干设备，其中，多层芯片墨点烘干设备，包括底座与升降基台，本实用新型技术方案通过传递组承接从机械臂传递的芯片，且将芯片放置于加热台上，待一个加热台上安置芯片后，驱动组工作带动升降基台升降，使得又一个加热台位于机械臂一侧，以便于承接加热新的芯片，待加热台上的芯片烘干后，传递组传递芯片，在机械臂的配合下完成烘干后芯片的堆叠，如此使得设备能够同时实现多个芯片的同时烘干且完成芯片的堆叠，提高烘干效率与芯片安置效率。
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公开(公告)号：CN220913248U
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202322389556.1
申请日：2023-08-31
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种防氧化测试装置。本实用新型的防氧化测试装置包括基座和测试座，基座用于放置待测件，待测件上具有多个沿第二方向排布的测试行，测试行具有多个沿第一方向排布的被测单元；测试座设置有探针和喷嘴，探针用于与被测单元接触，喷嘴用于喷出防护液，喷嘴与探针随测试座同步运动，测试座能够相对于基座沿第一方向移动，以切换探针和喷嘴对应的被测单元，测试座还能够相对于基座沿第二方向移动，以切换探针和喷嘴对应的测试行；喷嘴设置于探针的上游，以使各被测单元经过喷嘴后移动至探针处进行测试。该装置针对单个被测单元喷涂后能够及时进行测试，降低了因为防护液挥发导致打火氧化的概率。
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