电子器件
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1898814A

    公开(公告)日:2007-01-17

    申请号:CN200480038318.3

    申请日:2004-12-20

    Abstract: 微电机械系统(MEMS)元件(101)包括存在于衬底(30)的表面上的第一电极(31)和可移动元件(40),其至少部分地覆盖第一电极(31)并包括压电激励器,在第一和第二位置之间通过施加激励电压该可移动元件(40)可向着和从衬底(30)移动,在该第一位置中,它借助间隙与衬底(30)分开。这里压电激励器包括在相对表面上分别设有第二和第三电极(21、22)的压电层(25),所述第二电极(21)面向衬底(30),并且所述第三电极(22)形成MEMS元件(101)的输入电极,因此通过MEMS元件(101)之间的电流路径包括该压电层(25)和可调的间隙。

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