公开(公告)号：CN1898814A

公开(公告)日：2007-01-17

申请号：CN200480038318.3

申请日：2004-12-20

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： M·K·克利 ,  T·G·S·M·里克斯 ,  P·洛克 ,  R·G·莫措克

IPC: H01L41/09 ,  H01H57/00

CPC classification number: H01G5/18 ,  H01G5/40 ,  H01H1/0036 ,  H01H57/00 ,  H01H2057/006 ,  H01L41/094

Abstract: 微电机械系统(MEMS)元件(101)包括存在于衬底(30)的表面上的第一电极(31)和可移动元件(40)，其至少部分地覆盖第一电极(31)并包括压电激励器，在第一和第二位置之间通过施加激励电压该可移动元件(40)可向着和从衬底(30)移动，在该第一位置中，它借助间隙与衬底(30)分开。这里压电激励器包括在相对表面上分别设有第二和第三电极(21、22)的压电层(25)，所述第二电极(21)面向衬底(30)，并且所述第三电极(22)形成MEMS元件(101)的输入电极，因此通过MEMS元件(101)之间的电流路径包括该压电层(25)和可调的间隙。