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公开(公告)号：CN102416720A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201110236084.5
申请日：2011-08-17
Applicant: 电子科技大学
IPC: B32B9/00
Abstract: 本发明公开了一种氧化钒复合薄膜及其制备方法，其特征在于，该薄膜为氧化钒－富勒烯复合薄膜，即由二维的氧化钒与零维的富勒烯相复合而成。这种氧化钒－富勒烯复合薄膜能结合氧化钒、富勒烯两种成分的优点，克服单纯氧化钒薄膜在制备方法与材料性能等方面的不足，从而能够在保持较高的电阻温度系数的条件下，具备更加优良的导电性、以及在可见光到远红外波段更加优良的光吸收性能；此外，依靠零维富勒烯的光响应各向同性，氧化钒－富勒烯复合薄膜还具有更加灵敏、更加稳定的光学响应特性。采用这种氧化钒－富勒烯复合薄膜作为太赫兹探测器或红外探测器的热敏电阻材料及光吸收材料，能够提高器件的综合性能。
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公开(公告)号：CN102393252A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201110299176.8
申请日：2011-09-29
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种双层微测辐射热计，包括微桥结构，该微桥结构由上桥面和下桥面两个独立的桥面所组成，所述上桥面设有一层或多层光吸收材料，下桥面包含支撑与绝缘层、金属电极、热敏电阻薄膜、钝化及调控层，下桥面与衬底之间形成下层光学谐振腔，上桥面及下桥面之间形成上层光学谐振腔，其特征在于，上桥面和下桥面之间由两根连接柱相连接，且下桥面的表面设置有一层由金属构成的热量传输层。这种双层微桥一方面具有较高的光吸收率和填充因子，另一方面还具有较高的温度均匀性和力学稳定性。这种双层微测辐射热计及其制备方法能克服现有技术中存在的缺陷，提高了器件的工作性能，适宜大规模产业化生产。
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公开(公告)号：CN104535198B
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201510023632.4
申请日：2015-01-16
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01J5/22
Abstract: 本发明公开了种基于超材料的太赫兹微测辐射热计及其制备方法,由超材料太赫兹吸收器和热探测器两部分组成。其中,热探测器包含微桥支撑层、热敏电阻薄膜、金属电极和钝化层四层材料。超材料太赫兹吸收器包含底层金属膜、中间介质层、顶层金属膜三层材料。本发明将超材料太赫兹吸收器与热探测器集成在起,把超材料吸收太赫兹辐射产生的热量传递给热探测器,使热敏电阻薄膜的电学性能发生变化,由此实现太赫兹室温探测成像。本专利提供的微桥结构及制备工艺克服了微桥因超材料的加入而引起的形变等问题,使微测辐射热计具有高的力学稳定性和高的太赫兹吸收率。本发明解决了传统的微测辐射热计难于探测太赫兹波的缺陷,而且器件采用传统的微加工技术制备,适合产业化生产。
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公开(公告)号：CN104993199B
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201510478314.7
申请日：2015-08-07
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种超薄的太赫兹中高频宽带滤波器及其制作方法，滤波器由下至上依次包括一层或多层的非晶介质薄膜和一层或多层的金属薄膜，其中，所述的非晶介质薄膜被刻蚀成方型或圆型当中的一种的周期性图形结构；所述的金属薄膜直接附在非晶介质薄膜的表面，而且金属薄膜与非晶介质薄膜的形状相同。本发明提供的太赫兹宽带滤波器具有较薄的厚度，能够减弱常规衬底材料带来的插入损耗、避免在太赫兹波段由衬底构成的谐振腔引起的法布里‑珀罗共振。本发明所提供的滤波器结构简单、制造容易，其带通中心频率可覆盖整个太赫兹波段，同时具有较宽的带通带宽。如果把多个太赫兹滤波器相叠加，能够得到响应波形更加陡直、带外抑制性能更加优良的太赫兹滤波器。
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公开(公告)号：CN103474727A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201310419542.8
申请日：2013-09-14
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种多层超材料单元结构及其制备与调控方法，其由上至下依次为表层金属、上层介质、中间层金属、下层介质、底层金属。表层及中间层金属由尺寸不同的金属环所组成，且这两层金属环之间同时存在重叠区域与未重叠区域，结构的底层金属为连续的金属膜。对于本发明所提出的多层超材料，除了可以通过传统的改变谐振金属图形、金属与介质材料参数等手段进行性能调节之外，重要的是，还可以通过改变表层及中间层两层金属环的直径大小、两环的重叠区域的宽度、以及两环的未重叠区域的宽度等手段来调节超材料对入射电磁波的响应频率与频带。与传统的超材料结构相比，本发明具有更宽的响应频带、更集中的介质损耗、更薄的器件材料等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102416720B
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201110236084.5
申请日：2011-08-17
Applicant: 电子科技大学
IPC: B32B9/00
Abstract: 本发明公开了一种氧化钒复合薄膜及其制备方法，其特征在于，该薄膜为氧化钒－富勒烯复合薄膜，即由二维的氧化钒与零维的富勒烯相复合而成。这种氧化钒－富勒烯复合薄膜能结合氧化钒、富勒烯两种成分的优点，克服单纯氧化钒薄膜在制备方法与材料性能等方面的不足，从而能够在保持较高的电阻温度系数的条件下，具备更加优良的导电性、以及在可见光到远红外波段更加优良的光吸收性能；此外，依靠零维富勒烯的光响应各向同性，氧化钒－富勒烯复合薄膜还具有更加灵敏、更加稳定的光学响应特性。采用这种氧化钒－富勒烯复合薄膜作为太赫兹探测器或红外探测器的热敏电阻材料及光吸收材料，能够提高器件的综合性能。
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公开(公告)号：CN102393252B
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201110299176.8
申请日：2011-09-29
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种双层微测辐射热计，包括微桥结构，该微桥结构由上桥面和下桥面两个独立的桥面所组成，所述上桥面设有一层或多层光吸收材料，下桥面包含支撑与绝缘层、金属电极、热敏电阻薄膜、钝化及调控层，下桥面与衬底之间形成下层光学谐振腔，上桥面及下桥面之间形成上层光学谐振腔，其特征在于，上桥面和下桥面之间由两根连接柱相连接，且下桥面的表面设置有一层由金属构成的热量传输层。这种双层微桥一方面具有较高的光吸收率和填充因子，另一方面还具有较高的温度均匀性和力学稳定性。这种双层微测辐射热计及其制备方法能克服现有技术中存在的缺陷，提高了器件的工作性能，适宜大规模产业化生产。
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公开(公告)号：CN102419212A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201110236706.4
申请日：2011-08-18
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01J5/20
Abstract: 本发明公开了一种氧化钒复合薄膜及其制备方法，其特征在于，该薄膜为氧化钒－富勒烯－碳纳米管三元复合薄膜，即由二维的氧化钒与零维的富勒烯以及一维的碳纳米管三种成分相复合而成。与单纯的氧化钒薄膜、或氧化钒－碳纳米管、氧化钒－富勒烯等两元复合薄膜相比，这种氧化钒－富勒烯－碳纳米管三元复合薄膜能综合三种成分的优点，具备更加优良的电学及光学等性能；而且，通过氧化钒、富勒烯、碳纳米管三种成分之间的比例调节，可以更加灵活、更加准确地控制复合薄膜的性能。采用这种氧化钒－富勒烯－碳纳米管三元复合薄膜作为太赫兹探测器或红外探测器的热敏电阻材料及光吸收材料，能够提高器件的综合性能。
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公开(公告)号：CN103489943B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201310484486.6
申请日：2013-10-16
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L31/0352 , H01L31/18 , G01J5/10 , G01J5/58
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种碳纳米管和超材料复合结构的太赫兹吸收层及其制备方法，所述太赫兹吸收层从上到下依次为：顶层吸收层、介质层、金属反射层和碳纳米管薄膜层。用碳纳米管薄膜的特殊光学性质和超材料复合结构对太赫兹辐射接近100﹪的吸收率,显著增强了探测单元对太赫兹波段辐射的吸收率，也提高了探测器的太赫兹探测性能。同时，由于碳纳米管本身具有良好的导热性，可以迅速将吸收的热能传递给探测单元,提高探测器的响应速度。
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公开(公告)号：CN104993199A
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201510478314.7
申请日：2015-08-07
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种超薄的太赫兹中高频宽带滤波器及其制作方法，滤波器由下至上依次包括一层或多层的非晶介质薄膜和一层或多层的金属薄膜，其中，所述的非晶介质薄膜被刻蚀成方型或圆型当中的一种的周期性图形结构；所述的金属薄膜直接附在非晶介质薄膜的表面，而且金属薄膜与非晶介质薄膜的形状相同。本发明提供的太赫兹宽带滤波器具有较薄的厚度，能够减弱常规衬底材料带来的插入损耗、避免在太赫兹波段由衬底构成的谐振腔引起的法布里-珀罗共振。本发明所提供的滤波器结构简单、制造容易，其带通中心频率可覆盖整个太赫兹波段，同时具有较宽的带通带宽。如果把多个太赫兹滤波器相叠加，能够得到响应波形更加陡直、带外抑制性能更加优良的太赫兹滤波器。
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