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公开(公告)号：CN111933749B
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202010765348.5
申请日：2020-08-03
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/101 , G01J5/35
Abstract: 本发明属于红外传感器的研究领域，涉及一种单晶热释电薄膜多元红外传感器件的制备方法。本发明选用NiCr合金作为上电极和吸收层时的同时，利用“单晶热释电薄膜与NiCr合金膜的刻蚀速率差异”将其作为刻蚀掩膜实现多元红外传感器件的制备。本方法仅需一次光刻即可完成多元器件的微细加工，减少单晶薄膜多元器件光刻次数，避免了多次光刻中光刻胶均匀性、对准精度控制等难题；单晶薄膜刻蚀完成后剩余的NiCr合金膜用作上电极和吸收层，无需去除；并且通过干法刻蚀使NiCr合金膜产生粗化效应，减少其对红外光的反射作用，提高NiCr合金膜对红外辐射的吸收，进而提高器件性能。
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公开(公告)号：CN109596560A
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201811559279.1
申请日：2018-12-19
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01N21/3504
Abstract: 本发明属于气体传感器技术领域，具体为一种多通道集成红外气体传感器。本发明通过硅基上制备多通道气室，与集成电路结合得到的全集成红外气体传感器，并通过气孔的设置方式使得气体只能通过气槽上方的气孔进入气槽，然后扩散进入光槽中，减少光在光槽传输途中光线从气孔逃逸的数量，以提高测试精度。具有体积小、测量精度高、易批量制备的优点，有效拓展红外气体测量技术的应用范围，适用于更多的小型或便携式电子设备，如手机、智能手表、多功能手环等。
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公开(公告)号：CN108801966A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810522078.8
申请日：2018-05-28
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01N21/3504
CPC classification number: G01N21/3504
Abstract: 本发明属于红外气体传感技术领域，具体为一种多类型气体传感用多元热释电敏感元件。本发明通过设计单个红外敏感单元，将第二结构层M‑I‑M超材料结构的底层金属层同时作为第一结构层的上电极。通过对第二结构层的顶部金属图形层进行分区图形化处理，实现单一热释电材料上多敏感元集成，多红外波段的吸收，以及多气体种类的响应。本发明将热释电敏感材料与超材料完美吸波结构结合，应用于气体传感，直接实现敏感元高的红外选择性，省略现有红外气体传感器中滤光片部件，减小了器件体积，提高器件集成度，且利于批量化制作。
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公开(公告)号：CN108801966B
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN201810522078.8
申请日：2018-05-28
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01N21/3504
Abstract: 本发明属于红外气体传感技术领域，具体为一种多类型气体传感用多元热释电敏感元件。本发明通过设计单个红外敏感单元，将第二结构层M‑I‑M超材料结构的底层金属层同时作为第一结构层的上电极。通过对第二结构层的顶部金属图形层进行分区图形化处理，实现单一热释电材料上多敏感元集成，多红外波段的吸收，以及多气体种类的响应。本发明将热释电敏感材料与超材料完美吸波结构结合，应用于气体传感，直接实现敏感元高的红外选择性，省略现有红外气体传感器中滤光片部件，减小了器件体积，提高器件集成度，且利于批量化制作。
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公开(公告)号：CN114239654B
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202111548498.1
申请日：2021-12-17
Applicant: 电子科技大学
IPC: G06F18/2431 , G06F18/10 , G06F18/213 , G06F18/214 , G06N5/01 , G06N20/20
Abstract: 本发明涉及热释电检测的温度识别分类领域，具体为一种基于双波段热释电器件的温度识别分类方法。本发明根据双波段热释电器件输出的双波段特性，利用目标黑体不同温度可映射不同双波段比值的特点，将双波段比值作为该信号的主要特征，再额外加上时域和频域的一部分特征作为该信号的特征集，从而对信号的主要特征提取完毕；并与机器学习相结合，进而达到良好的温度识别分类效果。本发明易于实现且能达到良好的分类效果，有效解决了现有的温度识别分类方法受限于各自类别使得普适性较低的问题，且可以应用于其他领域，为其他领域的发展提供新的思路。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111933749A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN202010765348.5
申请日：2020-08-03
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/101 , G01J5/34
Abstract: 本发明属于红外传感器的研究领域，涉及一种单晶热释电薄膜多元红外传感器件的制备方法。本发明选用NiCr合金作为上电极和吸收层时的同时，利用“单晶热释电薄膜与NiCr合金膜的刻蚀速率差异”将其作为刻蚀掩膜实现多元红外传感器件的制备。本方法仅需一次光刻即可完成多元器件的微细加工，减少单晶薄膜多元器件光刻次数，避免了多次光刻中光刻胶均匀性、对准精度控制等难题；单晶薄膜刻蚀完成后剩余的NiCr合金膜用作上电极和吸收层，无需去除；并且通过干法刻蚀使NiCr合金膜产生粗化效应，减少其对红外光的反射作用，提高NiCr合金膜对红外辐射的吸收，进而提高器件性能。
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公开(公告)号：CN109813673A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201910213067.6
申请日：2019-03-20
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01N21/3504 , G01N21/01
Abstract: 本发明属于气体传感器领域，特别涉及一种具有压电微泵和扰流结构的红外气体传感器，尤其适用于动态的呼吸气体检测。本发明首先通过压电微泵对被测气体进行整流，以解决在被测气体在进入进气孔产生湍流的问题；再配合气室设置的扰流结构将进入气室内部的被测气体进行均匀扩散，以解决被测气体进入气室时形成非均匀气流柱导致红外气体传感器的有效可利用光程长变短的情况，同时提高气室内部气体的扩散速度。相比现有红外气体传感器具有更加高效、精准的效果。
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公开(公告)号：CN109596560B
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN201811559279.1
申请日：2018-12-19
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01N21/3504
Abstract: 本发明属于气体传感器技术领域，具体为一种多通道集成红外气体传感器。本发明通过硅基上制备多通道气室，与集成电路结合得到的全集成红外气体传感器，并通过气孔的设置方式使得气体只能通过气槽上方的气孔进入气槽，然后扩散进入光槽中，减少光在光槽传输途中光线从气孔逃逸的数量，以提高测试精度。具有体积小、测量精度高、易批量制备的优点，有效拓展红外气体测量技术的应用范围，适用于更多的小型或便携式电子设备，如手机、智能手表、多功能手环等。
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公开(公告)号：CN107546319A
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201710747273.6
申请日：2017-08-28
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L37/02
Abstract: 本发明属于电子材料与元器件技术领域，具体为一种热释电红外探测器及其制备方法。包括凹槽透光衬底、热释电层和键合层。本发明使用表面带有凹槽的透光衬底代替硅衬底，为使用常温、常压键合将衬底与单晶或陶瓷热释电敏感元进行集成提供了条件，实现了空气隙悬空绝热结构与单晶或陶瓷热释电敏感元集成；并在热释电敏感元制作凹槽、在敏感元内部形成一个绝热结构。本发明提供的热释电红外探测器，热性能好、可靠性高、工艺简单、成本低，且易于集成，探测性能好。
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公开(公告)号：CN114239654A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111548498.1
申请日：2021-12-17
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明涉及热释电检测的温度识别分类领域，具体为一种基于双波段热释电器件的温度识别分类方法。本发明根据双波段热释电器件输出的双波段特性，利用目标黑体不同温度可映射不同双波段比值的特点，将双波段比值作为该信号的主要特征，再额外加上时域和频域的一部分特征作为该信号的特征集，从而对信号的主要特征提取完毕；并与机器学习相结合，进而达到良好的温度识别分类效果。本发明易于实现且能达到良好的分类效果，有效解决了现有的温度识别分类方法受限于各自类别使得普适性较低的问题，且可以应用于其他领域，为其他领域的发展提供新的思路。
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