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公开(公告)号：CN102057061B
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN200980122011.4
申请日：2009-06-16
申请人： 电子科学工业有限公司
发明人： 马克·T·科斯莫夫斯基 , 穆罕默德·E·阿尔帕伊
CPC分类号： B23K26/10 , B23K26/60 , B23K26/702 , B23K2103/10 , Y10T29/49863
摘要： 本发明揭示一种抵消因微应力的堆积而产生的翘曲效应的过程及设备，所述微应力的堆积因用长波长激光器机器加工部件而导致。在不使待机器加工的所述部件中的任何其它特征屈曲的情况下，使用用于固持所述部件的固定件沿由于机器加工所致的翘曲应力的相反方向对所述部件施加预应力。当将所述部件固持于所述固定件中的预应力位置中时对其进行机器加工。
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公开(公告)号：CN102333615A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201080009481.2
申请日：2010-02-26
申请人： 电子科学工业有限公司
发明人： 马克·T·科斯莫夫斯基
CPC分类号： B23K26/046 , B23K26/035 , F16C29/008 , F16C29/025 , F16C32/0618 , G02B7/08 , G12B5/00 , H01L21/68 , H01L21/68785 , Y10S33/21
摘要： 本发明涉及一种激光处理系统，在所述激光处理系统中激光束沿着束轴传播且传播穿过透镜以入射在安装于支撑件上的目标试样的工作表面上。所述透镜形成所述激光束的聚焦区。所述支撑件操作地连接到多轴定位系统，所述多轴定位系统使所述激光束与所述目标试样相对于彼此移动以将所述激光束定位于所述工作表面上的选定位置处。组合件包含至少一个挠曲件，所述至少一个挠曲件支撑所述透镜且响应于原动力而导引所述透镜沿着所述束轴移动以相对于所述工作表面调整所述激光束的所述聚焦区。
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公开(公告)号：CN103228587A
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201180057094.0
申请日：2011-10-27
申请人： 电子科学工业有限公司
发明人： 马克·T·科斯莫夫斯基 , 米梅特·艾尔裴
CPC分类号： B23K26/0736 , B23K26/082 , B23K26/146 , B23K26/40 , B23K2103/50 , C03B33/04 , C03B33/093 , Y02P40/57
摘要： 本发明教示一种正交集成裁切设备及控制此设备的方法。所述裁切设备包含相对于面向待处理的衬底的座架以直角安装的两个裁切装置。通过使所述座架或非金属及/或易碎衬底沿两个正交轴线移动而在不使所述衬底旋转或移动到第二机器的情况下使所述衬底沿所述轴线分离。每一裁切装置激光器沿相应切割轴线按顺序加热所述衬底的表面、使切割区域冷却且接着激光器再加热所述切割区域以形成齐平断裂。
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公开(公告)号：CN102349147A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201080011565.X
申请日：2010-02-26
申请人： 电子科学工业有限公司
发明人： 马克·T·科斯莫夫斯基
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/683 , B23K26/42
CPC分类号： B23K26/0853 , B23K26/351 , B23K26/36 , B23K26/361 , B23K26/40 , B23K26/702 , B23K2101/40 , B23K2103/50
摘要： 激光束沿着束轴传播以入射在安装于支撑件上的工作表面上。所述支撑件操作地连接到定位系统，所述定位系统使所述激光束及目标试样中的至少一者相对于彼此移动以将所述激光束定位于所述工作表面上的选定位置处。至少一个反作用力补偿电机位于与对应载物台电机共有的力平面中，且位于尽可能靠近于所述对应载物台电机处。减小或消除所述补偿电机与所述对应载物台电机之间的任何力矩臂，从而允许所述补偿电机以近乎为零的力矩臂直接耦合到并反作用于载物台力。可借助仅四个电机来控制六个自由度，因为每一补偿电机直接耦合到并对准于对应载物台电机。
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公开(公告)号：CN102057061A
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN200980122011.4
申请日：2009-06-16
申请人： 电子科学工业有限公司
发明人： 马克·T·科斯莫夫斯基 , 穆罕默德·E·阿尔帕伊
CPC分类号： B23K26/10 , B23K26/60 , B23K26/702 , B23K2103/10 , Y10T29/49863
摘要： 本发明揭示一种抵消因微应力的堆积而产生的翘曲效应的过程及设备，所述微应力的堆积因用长波长激光器机器加工部件而导致。在不使待机器加工的所述部件中的任何其它特征屈曲的情况下，使用用于固持所述部件的固定件沿由于机器加工所致的翘曲应力的相反方向对所述部件施加预应力。当将所述部件固持于所述固定件中的预应力位置中时对其进行机器加工。
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