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用于短冲程载物台的挠曲件导引轴承
Abstract:
本发明涉及一种激光处理系统,在所述激光处理系统中激光束沿着束轴传播且传播穿过透镜以入射在安装于支撑件上的目标试样的工作表面上。所述透镜形成所述激光束的聚焦区。所述支撑件操作地连接到多轴定位系统,所述多轴定位系统使所述激光束与所述目标试样相对于彼此移动以将所述激光束定位于所述工作表面上的选定位置处。组合件包含至少一个挠曲件,所述至少一个挠曲件支撑所述透镜且响应于原动力而导引所述透镜沿着所述束轴移动以相对于所述工作表面调整所述激光束的所述聚焦区。
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