自组装的垂直对准的多芯片组件

    公开(公告)号:CN107924033B

    公开(公告)日:2020-10-23

    申请号:CN201680047268.8

    申请日:2016-08-08

    Abstract: 描述了多芯片组件(MCM)。这种MCM包括使用在基板的面对表面上的亲水材料和疏水材料以及作为恢复力的液体表面张力被动地自组装在另一个基板上的两个基板。两个基板上具有亲水材料的区域与另一个基板上具有亲水材料的区域重叠。另一个基板上的这些区域可以被具有疏水材料的区域包围。两个基板中的至少一个基板的表面上的间隔物可以使布置在两个基板上的光波导对准,使得光波导共面。这种制造技术可以允许通过边缘耦合两个基板来制造低损耗混合光源。例如,两个基板中的第一个基板可以是III/V族化合物半导体,并且两个基板中的第二个基板可以是绝缘体上硅光子芯片。

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