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公开(公告)号：CN110431253B
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN201880019340.5
申请日：2018-03-05
申请人： 田中贵金属工业株式会社
IPC分类号： C23C16/16 , C07F15/00 , C23C16/18 , H01L21/285
摘要： 本发明涉及用于通过化学气相沉积法制造铱薄膜或者铱化合物薄膜的化学气相沉积用原料，该化学气相沉积用原料由在铱上配位有环丙烯基或其衍生物以及羰基配体的铱配合物构成。本发明中应用的铱配合物即使在应用氢等还原性气体的情况下也可以制造铱薄膜。(式中，环丙烯基配体的取代基R1～R3各自独立地为氢、或者碳数1以上4以下的直链状或支链状的烷基)。
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公开(公告)号：CN114008238A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202080042968.4
申请日：2020-06-15
申请人： 田中贵金属工业株式会社
IPC分类号： C23C16/18 , H01L21/768 , C07F13/00
摘要： 本发明涉及一种化学蒸镀用原料，其是用于通过化学蒸镀法制造锰薄膜或锰化合物薄膜的化学蒸镀用原料，其由在锰上配位有环戊二烯基配体(L1)和异腈配体(L2)的下述化学式所示的有机锰化合物构成。本发明具有作为化学蒸镀用原料的基本特性，并且能够以氢气等还原性气体作为反应气体来进行锰薄膜的成膜。(所述式中，环戊二烯基配体(L1)的取代基R1～R5各自为氢或者直链、支链或环状的碳原子数1以上且4以下的烷基。异腈配体(L2)的取代基R6为直链、支链或环状的碳原子数1以上且4以下的烷基。Mn(L1)(L2)3
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公开(公告)号：CN107923038A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680048587.0
申请日：2016-08-23
申请人： 田中贵金属工业株式会社
IPC分类号： C23C16/16 , C07F15/00 , H01L21/28 , H01L21/285
摘要： 本发明涉及一种由双核钌配合物构成的化学蒸镀用原料，其用于通过化学蒸镀法制造钌薄膜或钌化合物薄膜，其中，该双核钌配合物由下式(1)表示，其是通过羰基及含氮的有机配位体(L)配位于金属键结的2个钌而成的。根据本发明的原料可以制造高纯度的钌薄膜，且熔点较低，并兼具适度的热稳定性。因此，适合应用于各种设备的电极等。
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公开(公告)号：CN105247098A
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201380076725.2
申请日：2013-12-27
申请人： 田中贵金属工业株式会社
摘要： 本发明提供一种化学沉积用原料，其熔点低，具有在气化阶段中不会热分解的热稳定性，且在成膜阶段中在低温下易于分解，并且能够稳定地形成杂质少的镍薄膜。本发明涉及包含有机镍化合物的化学沉积用原料，该有机镍化合物中环戊二烯基或其衍生物、以及在环烷基的碳骨架中具有一个烯丙基的环烯基或其衍生物与镍配位。该原料熔点低且具有适度的热稳定性，并且可在低温下成膜。此外，因为蒸气压高，因此适用作具有三维结构的立体型电极用材料。
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公开(公告)号：CN115038810A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202180011319.2
申请日：2021-01-28
申请人： 田中贵金属工业株式会社
IPC分类号： C23C16/18 , C07F15/00 , H01L21/285
摘要： 本发明涉及用于通过化学蒸镀法制造钌薄膜或钌化合物薄膜的有机钌化合物原料。该有机钌化合物是三亚甲基甲烷系配体(L1)和3个羰基配体与2价钌配位而得的由下述化学式1的式子表示的有机钌化合物。在化学式1中，三亚甲基甲烷系配体L1由下述化学式2的式子表示，[化学式1]RuL1(CO)3[化学式2]在上式中，配体L1的取代基R为氢、或者预定的碳原子数的烷基、环状烷基、烯基、炔基、氨基中的任一者。
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公开(公告)号：CN106715376B
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN201580050429.4
申请日：2015-08-28
申请人： 田中贵金属工业株式会社
摘要： 本发明提供一种三(β‑二酮)合铱的制造方法，其为使铱化合物与β‑二酮反应的三(β‑二酮)合铱的制造方法，其特征在于，对所述铱化合物进行包含下述的(a)碱处理和(b)酸处理的活化处理而将铱化合物活化之后，再与β‑二酮反应，(a)碱处理：在所述铱化合物的溶液中添加碱，使溶液的pH与碱添加前相比为更碱性侧，且使pH为10以上的处理；(b)酸处理：在进行了所述碱处理的所述溶液中添加酸，使溶液的pH与酸添加前相比为更酸性侧，且使酸添加前后的溶液的pH差成为0.1以上10以下的处理。根据本发明，可以利用广泛的β‑二酮制造三(β‑二酮)合铱。
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公开(公告)号：CN107532294B
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201680026945.8
申请日：2016-05-09
申请人： 田中贵金属工业株式会社
IPC分类号： C23C16/18 , C07C211/21 , C07F15/00 , H01L21/285
摘要： 本发明涉及下述所示的由在2价铂上配位有烯基胺及烷基阴离子的有机铂化合物构成的化学蒸镀用原料。在下述中，n为1以上5以下。烯基胺的取代基R1至R5分别为氢原子、烷基等，并且它们的碳原子数均为4以下。烷基阴离子R6及R7分别为碳原子数为1以上3以下的烷基。本发明的原料的蒸气压较高，可在低温下制造铂薄膜，同时也兼具适度的热稳定性。
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公开(公告)号：CN106715376A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201580050429.4
申请日：2015-08-28
申请人： 田中贵金属工业株式会社
CPC分类号： C07F15/004 , C07C45/77 , C07C49/92 , C07F15/00 , C09K11/06 , C09K2211/185 , C23C16/18 , H01L51/0002 , H01L51/0085 , H01L51/5016
摘要： 本发明提供一种三(β‑二酮)合铱的制造方法，其为使铱化合物与β‑二酮反应的三(β‑二酮)合铱的制造方法，其特征在于，对所述铱化合物进行包含下述的(a)碱处理和(b)酸处理的活化处理而将铱化合物活化之后，再与β‑二酮反应，(a)碱处理：在所述铱化合物的溶液中添加碱，使溶液的pH与碱添加前相比为更碱性侧，且使pH为10以上的处理；(b)酸处理：在进行了所述碱处理的所述溶液中添加酸，使溶液的pH与酸添加前相比为更酸性侧，且使酸添加前后的溶液的pH差成为0.1以上10以下的处理。根据本发明，可以利用广泛的β‑二酮制造三(β‑二酮)合铱。
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公开(公告)号：CN115038810B
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202180011319.2
申请日：2021-01-28
申请人： 田中贵金属工业株式会社
IPC分类号： C23C16/18 , C07F15/00 , H01L21/285
摘要： 本发明涉及用于通过化学蒸镀法制造钌薄膜或钌化合物薄膜的有机钌化合物原料。该有机钌化合物是三亚甲基甲烷系配体(L1)和3个羰基配体与2价钌配位而得的由下述化学式1的式子表示的有机钌化合物。在化学式1中，三亚甲基甲烷系配体L1由下述化学式2的式子表示，[化学式1]RuL1(CO)3[化学式2]#imgabs0#在上式中，配体L1的取代基R为氢、或者预定的碳原子数的烷基、环状烷基、烯基、炔基、氨基中的任一者。
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公开(公告)号：CN110431253A
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201880019340.5
申请日：2018-03-05
申请人： 田中贵金属工业株式会社
IPC分类号： C23C16/16 , C07F15/00 , C23C16/18 , H01L21/285
摘要： 本发明涉及用于通过化学气相沉积法制造铱薄膜或者铱化合物薄膜的化学气相沉积用原料，该化学气相沉积用原料由在铱上配位有环丙烯基或其衍生物以及羰基配体的铱配合物构成。本发明中应用的铱配合物即使在应用氢等还原性气体的情况下也可以制造铱薄膜。(式中，环丙烯基配体的取代基R1～R3各自独立地为氢、或者碳数1以上4以下的直链状或支链状的烷基。)
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