公开(公告)号：CN114719835B

公开(公告)日：2024-07-16

申请号：CN202210159812.5

申请日：2022-02-22

申请人： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 ,  瑞声声学科技(深圳)有限公司

发明人： 马昭 ,  占瞻 ,  杨珊 ,  阚枭 ,  严世涛 ,  彭宏韬 ,  李杨 ,  黎家健 ,  陈秋玉 ,  洪燕

IPC分类号： G01C19/5733 ,  B81B3/00

摘要： 本发明提供了微机械陀螺仪及电子产品，微机械陀螺仪包括第一运动件、第二运动件、多个驱动件和检测件，第一运动件具有第一中心，且第一运动件沿第二方向的两端能够绕第一中心沿第一方向和第三方向摆动，第二运动件具有第二中心，且第二运动件沿第一方向的两端能够绕第二中心沿第二方向和第三方向摆动，多个驱动件能够驱动第一运动件沿第一方向的摆动和第二运动件沿第二方向的摆动，检测件沿第三方向位于第一运动件和第二运动件上方或下方，检测件用于检测第一运动件和第二运动件沿第三方向的移动的距离。该微机械陀螺仪通过第一运动件和第二运动件可以同时测量两个方向的角速度并进行差分检测排除误差，从而拓宽了微机械陀螺仪的应用场景。

公开(公告)号：CN114719833A

公开(公告)日：2022-07-08

申请号：CN202210163479.5

申请日：2022-02-22

申请人： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 ,  瑞声声学科技(深圳)有限公司

发明人： 马昭 ,  占瞻 ,  阚枭 ,  杨珊 ,  严世涛 ,  彭宏韬 ,  李杨 ,  黎家健 ,  陈秋玉

IPC分类号： G01C19/5656

摘要： 本发明提供了一种MEMS陀螺，包括锚点单元、弹性连接于锚点单元的传感单元、以及弹性连接于锚点单元和传感单元的驱动单元；锚点单元包括四个分别位于一矩形的四个角部位置的角部锚点结构和四个中心锚点；传感单元包括四个分别弹性连接于各角部锚点结构和对应的中心锚点之间且相互形成让位空间的第一质量块、以及分别位于各让位空间内的四个第二质量块和四个解耦质量块；第一质量块、第二质量块和解耦质量块均在矩形内；驱动单元包括四个分别连接于第二质量块外侧的驱动件。本发明的陀螺能够实现三个轴角速度独立检测，并且能够实现差分检测，且振动力矩平衡，有效免疫加速度冲击与正交误差的影响，提高检测精度。

公开(公告)号：CN114487482A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202210040467.3

申请日：2022-01-14

申请人： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 ,  瑞声声学科技(深圳)有限公司

发明人： 严世涛 ,  占瞻 ,  杨珊 ,  马昭 ,  彭宏韬 ,  阚枭 ,  李杨 ,  黎家健 ,  洪燕 ,  陈秋玉

IPC分类号： G01P15/125

摘要： 本发明提供了一种加速度传感器，包括传感单元，传感单元包括：呈环状的外侧耦合单元；跷跷板结构，包括至少两个且设置于外侧耦合单元的内侧；内侧耦合单元，包括将相邻两个跷跷板结构连接的内侧耦合弹性梁；检验质量块，固定于外侧耦合单元或内侧耦合单元或跷跷板结构；面内耦合弹性件，将跷跷板结构弹性连接至外侧耦合单元；面内位移检测装置，设置于检验质量块，用于检测检验质量块沿第一方向和/或沿第二方向产生的运动；面外位移检测装置，所设置于外侧耦合单元和/或跷跷板结构和/或内侧耦合单元，用于检测跷跷板结构沿第三方向产生的运动。与相关技术相比，本发明的加速度传感器结构紧凑尺寸小，检测线性度高、交叉抑制比高、精度高。

公开(公告)号：CN114719834A

公开(公告)日：2022-07-08

申请号：CN202210230313.0

申请日：2022-03-09

申请人： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 ,  瑞声声学科技(深圳)有限公司

发明人： 马昭 ,  占瞻 ,  阚枭 ,  杨珊 ,  严世涛 ,  彭宏韬 ,  李杨 ,  黎家健 ,  陈秋玉

IPC分类号： G01C19/5656

摘要： 本发明提供了一种三轴MEMS陀螺，包括基底、弹性连接于所述基底的传感单元、以及与所述传感单元耦合并驱动所述传感单元运动的驱动单元，所述基底包括四个分别位于一矩形的四个角部位置的锚点结构以及四个分别弹性连接于各所述锚点结构的耦合结构；所述驱动单元包括四个分别位于所述矩形四个角内部位置且一端分别和相邻的所述耦合结构弹性连接的驱动件；所述传感单元包括四个分别设置于各所述让位间隔内且弹性连接于相邻的所述耦合结构以形成矩形框架的X/Y质量块、以及四个分别弹性连接于所述驱动件且位于所述驱动件远离所述锚点结构的一侧的Z质量块。本发明陀螺为差分驱动，能实现差分检测，降低正交误差。

公开(公告)号：CN113959423A

公开(公告)日：2022-01-21

申请号：CN202111159458.8

申请日：2021-09-30

申请人： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 ,  瑞声声学科技(深圳)有限公司

发明人： 马昭 ,  占瞻 ,  李杨 ,  杨珊 ,  阚枭 ,  彭宏韬 ,  严世涛

IPC分类号： G01C19/5656

摘要： 本发明提供一种MEMS陀螺仪，包括框架结构、设置于框架结构内的解耦结构和质量块，框架结构包括驱动结构、耦合结构、连接耦合结构与驱动结构的第一弹性件以及固定耦合结构、驱动结构和第一弹性件的第一锚点结构；框架结构沿多轴方向被划分为多个检测区域，质量块包括敏感质量块和耦合质量块；在每个检测区域内均设置有至少一个耦合质量块、对称分布在耦合质量块两侧的敏感质量块、以及固定耦合质量块和敏感质量块的第二锚点结构，耦合质量块通过第一弹性件与敏感质量块连接；在其中一个检测区域设置有解耦结构，解耦结构与第二锚点结构连接，敏感质量块通过解耦结构和第一弹性件与第二锚点结构连接。该陀螺仪实现差分检测，提高其检测精度。

公开(公告)号：CN113955712A

公开(公告)日：2022-01-21

申请号：CN202111160920.6

申请日：2021-09-30

申请人： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 ,  瑞声声学科技(深圳)有限公司

发明人： 但强 ,  李杨 ,  黎家健 ,  吴伟昌

IPC分类号： B81C1/00 ,  B81B7/00 ,  B81B7/02

摘要： 本发明提出一种导电结构及其制备方法，制备方法包括以下步骤：制备框架，所述框架包括静态框架和移动板；制备移动板，所述移动板能够相对于所述静态框架移动；采用MEMS工艺制备导电连接件；组装所述导电连接件，所述导电连接件包括分别与所述静态框架及所述移动板耦接的端部以及连接于所述端部之间的导线。利用传统工艺制备静态框架及移动板，利用MEMS工艺制备导电连接件，有效利用了不同工艺的有点，降低了导电结构的制作难度、成本，易于小型化及集成化。

公开(公告)号：CN113938803A

公开(公告)日：2022-01-14

申请号：CN202111145119.4

申请日：2021-09-28

申请人： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 ,  瑞声声学科技(深圳)有限公司

发明人： 程诗阳 ,  但强 ,  周一苇 ,  沈宇 ,  李杨

IPC分类号： H04R9/06 ,  H04R9/02

摘要： 本发明提供一种扬声器的制备方法，以及由该制备方法得到的扬声器。其中，扬声器包括具有收容腔的底座以及收容于所述收容腔内的振动发声组件，所述振动发声组件包括跨接在所述底座内侧壁的传动振膜、叠设在所述传动振膜的第一振膜、以及叠设在所述传动振膜以驱动所述传动振膜和所述第一振膜振动发声的驱动器；所述传动振膜与所述第一振膜的刚度不同。本发明的扬声器架构实现了将驱动结构和位移结构的深度解耦，驱动器只负责产生面内应力，自身不发生面外翘曲，使扬声器的振动极大程度的摆脱驱动器自身性能的影响，很容易获得全频段高水平的声压输出。

公开(公告)号：CN113630703A

公开(公告)日：2021-11-09

申请号：CN202110997247.5

申请日：2021-08-27

申请人： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 ,  瑞声声学科技(深圳)有限公司

发明人： 但强 ,  程诗阳 ,  周一苇 ,  李杨

IPC分类号： H04R19/02 ,  H04R17/00 ,  B81B7/00 ,  B81B7/02

摘要： 本发明提供了一种MEMS扬声器，MEMS扬声器包括衬底，衬底具有相对设置的顶壁和底壁，以及自顶壁至底壁贯穿衬底的空腔；耦合件，耦合件包括固定于顶壁的本体部、由本体部向空腔延伸的悬臂梁以及与悬臂梁远离本体部一端连接的质量块；振膜，振膜固定于耦合件远离顶壁一侧并与耦合件共同围合形成振动面，振动面沿振膜的振动方向封闭空腔；驱动器，驱动器固定于耦合件并驱动振动面振动发声。该MEMS扬声器中振膜与耦合件共同围合形成振动面，并通过固定于耦合件的驱动器直接驱动振动发声，能够获得更好的发声效果，此外，通过调节质量块的高度以及质量，可以调节扬声器的一阶谐振，灵活的调整扬声器的发声效果。

公开(公告)号：CN113237621A

公开(公告)日：2021-08-10

申请号：CN202110474727.3

申请日：2021-04-29

申请人： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 ,  瑞声声学科技(深圳)有限公司

发明人： 杨珊 ,  占瞻 ,  马昭 ,  阚枭 ,  李杨 ,  黎家健 ,  洪燕 ,  陈秋玉

IPC分类号： G01M7/02

摘要： 本发明提供了一种基于体振动的翻转倾斜检测结构，包括基底；锚点结构，固定于所述基底；星形振动结构，悬置于所述基底上并与所述锚点结构机械耦合，所述星形振动结构的外轮廓为正6N角星，N为≥2的正整数；至少两个面内换能器，用于实现该检测结构平面内的机械场与电场的耦合；至少两个面外换能器，用于实现该检测结构平面外的机械场与电场的耦合；其中，所述检测结构工作在两个体振动模态中，两个所述体振动模态包括工作在结构面内的3θ体振动驱动模态以及工作在结构面外的第2阶弯曲体振动检测模态，两个所述体振动模态可相互互换。本发明能够提高检测结构的灵敏度。

公开(公告)号：CN113639736B

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202110907582.1

申请日：2021-08-09

申请人： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 ,  瑞声声学科技(深圳)有限公司

发明人： 阚枭 ,  占瞻 ,  马昭 ,  杨珊 ,  李杨 ,  陈秋玉 ,  洪燕 ,  黎家健

IPC分类号： G01C19/5656

摘要： 本发明提供了一种微机械陀螺仪，包括基底、固定于基底的至少两个检测结构、以及连接相邻检测结构的耦合梁，每一检测结构包括固定于基底的锚点、悬置于基底上并与锚点连接的圆环形振动结构、多个面内换能器以及多个面外换能器，面内换能器绕圆环形振动结构的中心分布在圆环形振动结构的外侧，面外换能器绕圆环形振动结构的中心分布于圆环形振动结构下方或上方，该检测结构工作在结构面内的3θ体振动驱动模态以及工作在结构面外的第2阶弯曲体振动检测模态，两个体振动模态可相互互换。本发明的微机械陀螺仪可以提高检测灵敏度。