发明公开
- 专利标题: 一种基于体振动的翻转倾斜检测结构
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申请号: CN202110474727.3申请日: 2021-04-29
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公开(公告)号: CN113237621A公开(公告)日: 2021-08-10
- 发明人: 杨珊 , 占瞻 , 马昭 , 阚枭 , 李杨 , 黎家健 , 洪燕 , 陈秋玉
- 申请人: 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 , 瑞声声学科技(深圳)有限公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市光谷三路777号武汉东湖综合保税区A塔楼;
- 专利权人: 瑞声开泰科技(武汉)有限公司,瑞声声学科技(深圳)有限公司
- 当前专利权人: 瑞声开泰科技(武汉)有限公司,瑞声声学科技(深圳)有限公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市光谷三路777号武汉东湖综合保税区A塔楼;
- 代理机构: 深圳紫辰知识产权代理有限公司
- 代理商 万鹏
- 主分类号: G01M7/02
- IPC分类号: G01M7/02
摘要:
本发明提供了一种基于体振动的翻转倾斜检测结构,包括基底;锚点结构,固定于所述基底;星形振动结构,悬置于所述基底上并与所述锚点结构机械耦合,所述星形振动结构的外轮廓为正6N角星,N为≥2的正整数;至少两个面内换能器,用于实现该检测结构平面内的机械场与电场的耦合;至少两个面外换能器,用于实现该检测结构平面外的机械场与电场的耦合;其中,所述检测结构工作在两个体振动模态中,两个所述体振动模态包括工作在结构面内的3θ体振动驱动模态以及工作在结构面外的第2阶弯曲体振动检测模态,两个所述体振动模态可相互互换。本发明能够提高检测结构的灵敏度。
公开/授权文献
- CN113237621B 一种基于体振动的翻转倾斜检测结构 公开/授权日:2023-01-24