一种基于体振动的翻转倾斜检测结构
摘要:
本发明提供了一种基于体振动的翻转倾斜检测结构,包括基底;锚点结构,固定于所述基底;星形振动结构,悬置于所述基底上并与所述锚点结构机械耦合,所述星形振动结构的外轮廓为正6N角星,N为≥2的正整数;至少两个面内换能器,用于实现该检测结构平面内的机械场与电场的耦合;至少两个面外换能器,用于实现该检测结构平面外的机械场与电场的耦合;其中,所述检测结构工作在两个体振动模态中,两个所述体振动模态包括工作在结构面内的3θ体振动驱动模态以及工作在结构面外的第2阶弯曲体振动检测模态,两个所述体振动模态可相互互换。本发明能够提高检测结构的灵敏度。
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