公开(公告)号：CN106062944A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201580011368.0

申请日：2015-01-02

Applicant: 现代重工业株式会社

Inventor： 金钟郁 ,  金祥铉 ,  金兑炫 ,  尹大奎

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67766 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67742

Abstract: 本发明涉及一种基板传送装置用升降装置以及基板传送装置。所述基板传送装置用升降装置包括：升降单元，用于升降传送臂，以改变用于传送基板的所述传送臂所处的高度；第一升降引导部和第二升降引导部，相互并排配置，用于引导所述传送臂的升降；第一升降导块，包括结合于所述第一升降引导部的第一导槽；以及第二升降导块，包括结合于所述第二升降引导部的第二导槽，其中，所述第一导槽与所述第二导槽被配置成相互对置。

公开(公告)号：CN104973420A

公开(公告)日：2015-10-14

申请号：CN201510149253.X

申请日：2015-03-31

Applicant: 现代重工业株式会社

Inventor： 金必峻 ,  尹大奎 ,  宋荣训 ,  金义镇

IPC: B65G47/90 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明涉及基板搬运机器人驱动装置以及利用该装置的基板搬运方法，所述基板搬运机器人驱动装置包括：搬运驱动部、升降驱动部、旋转驱动部、移动驱动部、蛇行补偿导出部、控制部，其中，所述控制部在第一蛇行方向上将蛇行补偿值分配到升降驱动部、搬运驱动部以及移动驱动部中的至少一个，在第二蛇行方向上将蛇行补偿值分配到旋转驱动部、搬运驱动部以及移动驱动部中的至少一个。