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公开(公告)号：CN104973420A
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201510149253.X
申请日：2015-03-31
Applicant: 现代重工业株式会社
IPC: B65G47/90 , H01L21/677
Abstract: 本发明涉及基板搬运机器人驱动装置以及利用该装置的基板搬运方法，所述基板搬运机器人驱动装置包括：搬运驱动部、升降驱动部、旋转驱动部、移动驱动部、蛇行补偿导出部、控制部，其中，所述控制部在第一蛇行方向上将蛇行补偿值分配到升降驱动部、搬运驱动部以及移动驱动部中的至少一个，在第二蛇行方向上将蛇行补偿值分配到旋转驱动部、搬运驱动部以及移动驱动部中的至少一个。
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