公开(公告)号：CN101080367A

公开(公告)日：2007-11-28

申请号：CN200580043546.4

申请日：2005-12-02

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所

Inventor： 小岛弦

IPC: C03B17/06

CPC classification number: Y02P40/57

Abstract: 一种板玻璃的制法，将玻璃连续地成形为板状，其特征在于，用从支持部件产生的气体对连续移动的固化前的玻璃的至少下面进行支持，并且控制施加在玻璃上的重力的作用，一边改变其位置，一边反复地对玻璃赋予局部性的变位和变形，使之在整个玻璃上传播、伸展。提供一种解决并改善现有技术的缺点和制约等，能简便而大幅度地缓解能源、资源及环境问题，获得表面没有缺陷的高品质的板状玻璃的技术，并且明确利用蒸汽膜的方法中的从原理上以及根本上欠缺的重要的技术性观点和要素，提供一种制造高品质板玻璃的新的技术，该技术涉及更广泛的利用气体的板玻璃成形方法，制造出来的板玻璃具有微观的平滑性，并且宏观厚度均匀性和平坦度等很优异。

公开(公告)号：CN101616868A

公开(公告)日：2009-12-30

申请号：CN200880003081.3

申请日：2008-01-22

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所

Inventor： 小岛弦 ,  横山浩 ,  林丰

IPC: C01B33/02 ,  C30B29/06 ,  H01L31/04

CPC classification number: H01L31/182 ,  C30B15/002 ,  C30B15/007 ,  C30B15/30 ,  C30B28/10 ,  C30B29/06 ,  Y02E10/546 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明提供：可有效生产不良杂质混入及缺陷少的、平坦的、大面积的多晶薄板状硅基板以及表面具有氧化物被膜等的复合硅基板的制造装置、制造方法以及制品。在惰性氛围气中，从熔融硅制造硅带(12)的成型区中，来自坩埚炉的熔融硅(2)，通过把该熔融硅调整至适于成型状态的旋转辊筒(3)，配置由供给的基材(11)构成的成型用传送带(成型头)(5)，基材(11)具有：相对由熔融硅(2)成型的成型硅带(4)，从其下方分别喷出、排出气体的多个气体喷出孔及气体排出孔，通过这些喷出的气体与排出的气体两者的动态压力均衡状态，在气体上成型的硅带(4)，一边被稳定保持一边在硅表面上通过气体中含有的反应性物质形成被膜，一边在与成型的硅带(4)的面的平行方向施加拉伸应力，成型硅带(12)。