一种具有双位移的二维精密微动工作台及使用方法

    公开(公告)号:CN110666756A

    公开(公告)日:2020-01-10

    申请号:CN201911002197.1

    申请日:2019-10-21

    Abstract: 本发明提供了一种具有双位移的二维精密微动工作台及使用方法,它包括底座,所述底座的顶部通过底层片簧组支撑安装有中层工作台,所述中层工作台的顶部通过顶层片簧组支撑安装有上层工作台,所述中层工作台的侧壁上固定有第一楔形块,所述第一楔形块与用于驱动其沿Y向微动的Y向楔形机构相配合;所述上层工作台的侧壁上固定有第二楔形块,所述第二楔形块与用于驱动其沿X向微动的X向楔形机构相配合。

    一种具有双位移的二维精密微动工作台

    公开(公告)号:CN210757607U

    公开(公告)日:2020-06-16

    申请号:CN201921767052.6

    申请日:2019-10-21

    Abstract: 本实用新型提供了一种具有双位移的二维精密微动工作台,它包括底座,所述底座的顶部通过底层片簧组支撑安装有中层工作台,所述中层工作台的顶部通过顶层片簧组支撑安装有上层工作台,所述中层工作台的侧壁上固定有第一楔形块,所述第一楔形块与用于驱动其沿Y向微动的Y向楔形机构相配合;所述上层工作台的侧壁上固定有第二楔形块,所述第二楔形块与用于驱动其沿X向微动的X向楔形机构相配合。

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