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公开(公告)号：CN117210801A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311002994.6
申请日：2023-08-08
Applicant: 湖北江城实验室科技服务有限公司
IPC: C23C16/52 , H01L21/02 , C23C16/505 , C23C16/34 , C23C16/40
Abstract: 本公开实施例公开了一种晶圆弯曲度调整方法，包括：提供第一晶圆；通过调节等离子体增强化学气相沉积过程中的工艺参数，在所述第一晶圆上形成具有第一固定厚度以及第一弯曲度调节能力的第一材料层，使得所述第一晶圆的第一弯曲度的绝对值小于等于第一预设值得到具有第一弯曲度的第一晶圆。
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