封装结构的开封方法及开封装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN120028673A

    公开(公告)日:2025-05-23

    申请号:CN202510154164.8

    申请日:2025-02-12

    Abstract: 本公开实施例提供一种封装结构的开封方法及开封装置;其中,封装结构包括芯片、以及覆盖所述芯片的塑封层;封装结构的开封方法包括:确定所述封装结构中的待开封区域;对位于所述待开封区域的塑封层进行减薄处理,形成第一凹槽;在所述第一凹槽中滴注刻蚀液,通过所述刻蚀液去除减薄后的所述塑封层,形成第二凹槽;对所述第二凹槽进行清洗,暴露出所述芯片的表面。

Patent Agency Ranking