一种基于菱形高斯窗函数的四波横向剪切干涉波前复原方法

    公开(公告)号:CN119085481A

    公开(公告)日:2024-12-06

    申请号:CN202310663109.2

    申请日:2023-06-05

    Abstract: 本发明涉及光学测量技术领域,尤其涉及一种基于菱形高斯窗函数的四波横向剪切干涉相位复原方法。首先,对四波横向剪切干涉图测量图进行二维离散傅里叶变换,再利用设计的菱形高斯窗函数对变换的频域信息进行滤波,以获取x和y方向的正负一级频谱;然后,将两个方向的正或负一级频谱移至零级频谱中心,再依次通过二维离散傅里叶逆变换、背景光去除以及反正切运算等即可得出x和y方向的差分相位;最后,利用傅里叶基底函数对x和y方向的差分相位进行最小二乘拟合,并将拟合得到的傅里叶系数重新代入基底函数,即可计算得出被测波前的相位复原结果。与采用其他常用的滤波窗函数相位提取时得到的重建PV误差进行对比分析表明,本发明能够去除对测量结果影响较大的离群点,从而具有较高的相位复原精度和对比度。

    一种四波横向剪切干涉测量系统的二维衍射光栅高精度对准方法

    公开(公告)号:CN119124365A

    公开(公告)日:2024-12-13

    申请号:CN202310688934.8

    申请日:2023-06-12

    Abstract: 本发明涉及波前测量领域,尤其涉及一种四波横向剪切干涉测量系统的二维衍射光栅高精度对准方法,本发明结合自主搭建显微成像系统,实现了二维衍射光栅的高精度对准,同时优化设计显微成像系统,对准系统提供了x、y方向、纵向和旋转四个方向上的自由度,光路系统可以通过四个方向的移动和旋转进行二维衍射光栅对准,补偿光学元件对准产生的同轴度与平行度误差,显著提高二维衍射光栅对准的精确度与简便性,保证二维衍射光栅的衍射效率及各项性能,解决了μm微米级周期性光栅对准难度大对准精度不高的问题,提高四波横向剪切干涉波前测量仪的波前重构的效率与精确性。

    一种光谱共焦测量镜头及光谱共焦传感器

    公开(公告)号:CN116500755A

    公开(公告)日:2023-07-28

    申请号:CN202310455002.9

    申请日:2023-04-25

    Abstract: 本发明属于光学测量相关技术领域,其公开了一种光谱共焦测量镜头及光谱共焦传感器,其中测量镜头包括从像方至物方依次排列设置的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组;所述第一透镜组的焦距为正,所述第二透镜组的焦距为正,所述第三透镜组的焦距为负。本发明通过从像方至物方依次沿光轴设置焦距为正的第一透镜组、焦距为正的第二透镜组以及焦距为负的第三透镜组,整体采用正光焦度镜组在前、负光焦度镜组在后的摄远物镜结构,有利于得到大的色散范围,同时在正光焦度镜组中通过两组焦距分别为正的第一透镜组和第二透镜组,能够分担正光焦度从而减小球差,最终得到具有较好色散线性度,同时色散范围大且球差校正良好的色散物镜。

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