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公开(公告)号:CN119085481A
公开(公告)日:2024-12-06
申请号:CN202310663109.2
申请日:2023-06-05
Applicant: 湖北工业大学
IPC: G01B9/02098 , G01B11/24
Abstract: 本发明涉及光学测量技术领域,尤其涉及一种基于菱形高斯窗函数的四波横向剪切干涉相位复原方法。首先,对四波横向剪切干涉图测量图进行二维离散傅里叶变换,再利用设计的菱形高斯窗函数对变换的频域信息进行滤波,以获取x和y方向的正负一级频谱;然后,将两个方向的正或负一级频谱移至零级频谱中心,再依次通过二维离散傅里叶逆变换、背景光去除以及反正切运算等即可得出x和y方向的差分相位;最后,利用傅里叶基底函数对x和y方向的差分相位进行最小二乘拟合,并将拟合得到的傅里叶系数重新代入基底函数,即可计算得出被测波前的相位复原结果。与采用其他常用的滤波窗函数相位提取时得到的重建PV误差进行对比分析表明,本发明能够去除对测量结果影响较大的离群点,从而具有较高的相位复原精度和对比度。
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公开(公告)号:CN119124365A
公开(公告)日:2024-12-13
申请号:CN202310688934.8
申请日:2023-06-12
Applicant: 湖北工业大学
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明涉及波前测量领域,尤其涉及一种四波横向剪切干涉测量系统的二维衍射光栅高精度对准方法,本发明结合自主搭建显微成像系统,实现了二维衍射光栅的高精度对准,同时优化设计显微成像系统,对准系统提供了x、y方向、纵向和旋转四个方向上的自由度,光路系统可以通过四个方向的移动和旋转进行二维衍射光栅对准,补偿光学元件对准产生的同轴度与平行度误差,显著提高二维衍射光栅对准的精确度与简便性,保证二维衍射光栅的衍射效率及各项性能,解决了μm微米级周期性光栅对准难度大对准精度不高的问题,提高四波横向剪切干涉波前测量仪的波前重构的效率与精确性。
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