光产酸剂
    1.
    发明公开
    光产酸剂 审中-实审

    公开(公告)号:CN119954696A

    公开(公告)日:2025-05-09

    申请号:CN202411222331.X

    申请日:2023-11-08

    Abstract: 本发明公开了一类含芳香性三氟甲肟基磺酸酯结构的光产酸剂。同时公开了这类含芳香性三氟甲肟基磺酸酯结构的光产酸剂的制备方法。在惰性气体保护下,将三氟芳乙酮化合物溶解在有机溶剂中,加入过量的乙酸钠和盐酸羟胺,室温下反应,TLC检测反应完全。停止反应。抽滤,浓缩滤液,纯化后得到三氟甲基羟肟产物。在惰性气体保护下,将步骤(1)所获得的三氟甲基羟肟产物溶解在有机溶剂中,加入碱和过量的磺酰氯化合物,室温下反应,TLC检测反应完全。停止反应。抽滤,浓缩滤液,纯化后得到含芳香性三氟甲肟基磺酸酯结构的光产酸剂。并提供其作为光产酸剂的应用。

    一种电子级重氮萘醌类光引发剂的纯化方法

    公开(公告)号:CN119350200A

    公开(公告)日:2025-01-24

    申请号:CN202411334889.7

    申请日:2023-12-06

    Abstract: 本发明公开了一种电子级重氮萘醌类光引发剂的纯化方法,利用设置纳滤膜两侧的跨膜压力差,使纳滤膜室内光引发剂溶液中的金属离子杂质分离到纯化室中,然后通过离子交换柱吸附,实现了重氮萘醌类光引发剂的纯化,并节约了纯化溶剂的用量,从而大幅度减少了纯化过程中废液的排放。本发明工艺简单高效,解决了重氮萘醌型光引发剂无法用传统重结晶或者直接通过离子交换柱等方法纯化的痛点,且纯化效果能达到电子级标准。

    微通道反应器实现2-重氮-1-萘醌-5-磺酸重氮化反应的方法

    公开(公告)号:CN116396186A

    公开(公告)日:2023-07-07

    申请号:CN202310278705.9

    申请日:2023-03-21

    Abstract: 一种利用微通道反应器实现重氮化反应的方法,将流速为1~10 ml/min,2‑氨基‑1‑萘酚‑5磺酸的盐酸盐,无水硫酸铜与纯水的混合物,流速为1~10 ml/min,亚硝酸钠水溶液,流速为1~10 ml/min,浓盐酸加入微通道反应器组,在0~5℃反应后,将得到反应液加入下一个微通道反应器组中,并加入氯化钠固体进行析晶,再经过过滤洗涤和重结晶,制得2‑重氮‑1‑萘醌‑5‑磺酸,反应时间大大缩短,转化率为92~94%,得到的电子产品纯度≥98%、金属离子钠、铝、铜、铁、钙、锌和硼含量≤50ppb,金属离子钡、镉、铬、锡、银、金和汞未检出。反应物料,温度及反应速率均可控,反应充分,所得目标产物产率稳定,可用于连续化生产。

    微通道反应器实现2-重氮-1-萘醌-5-磺酸重氮化反应的方法

    公开(公告)号:CN116396186B

    公开(公告)日:2024-10-15

    申请号:CN202310278705.9

    申请日:2023-03-21

    Abstract: 一种利用微通道反应器实现重氮化反应的方法,将流速为1~10 ml/min,2‑氨基‑1‑萘酚‑5磺酸的盐酸盐,无水硫酸铜与纯水的混合物,流速为1~10 ml/min,亚硝酸钠水溶液,流速为1~10 ml/min,浓盐酸加入微通道反应器组,在0~5℃反应后,将得到反应液加入下一个微通道反应器组中,并加入氯化钠固体进行析晶,再经过过滤洗涤和重结晶,制得2‑重氮‑1‑萘醌‑5‑磺酸,反应时间大大缩短,转化率为92~94%,得到的电子产品纯度≥98%、金属离子钠、铝、铜、铁、钙、锌和硼含量≤50ppb,金属离子钡、镉、铬、锡、银、金和汞未检出。反应物料,温度及反应速率均可控,反应充分,所得目标产物产率稳定,可用于连续化生产。

    一种光刻胶组合物改性方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119511634A

    公开(公告)日:2025-02-25

    申请号:CN202411470286.X

    申请日:2024-10-21

    Abstract: 本发明涉及光刻胶技术领域,具体涉及一种适用于光刻胶的改性方法。所述光刻胶是一类正性光刻胶,包括酚醛聚合物树脂、重氮萘醌型光引发剂、溶剂、添加剂。本发明采用多碳基烯醇化合物作为前驱体制备得到重氮萘醌磺酸酯型感光化合物,利用重氮萘醌磺酸酯型感光化合物中携带的醛基与胺类添加剂通过希夫碱反应对光引发剂‑酚醛树脂耦合产物进行接枝,调节其溶解抑制作用,从而增强光刻胶分辨率、抗刻蚀性能以及曝光显影后边缘粗糙度等关键特性。

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