公开(公告)号：CN105241599B

公开(公告)日：2017-09-22

申请号：CN201510743907.1

申请日：2015-11-05

Applicant: 清华大学

Inventor： 程嘉 ,  王珂晟 ,  张俊斌 ,  王建冲 ,  钟音 ,  路益嘉 ,  季林红

IPC: G01L5/00

Abstract: 本发明公开了一种静电卡盘静电力的检测系统，包括：一晶片；一静电卡盘，该静电卡盘具有相对设置的第一表面和第二表面，第一表面用于放置所述晶片，第二表面具有一进气口；一微力探头单元，该微力探头单元设置于所述晶片远离所述静电卡盘的一侧，用于接触所述晶片；一气体背吹控制单元，该气体背吹控制单元与所述静电卡盘的进气口连通，用于向所述静电卡盘提供气体；一自动控制与采集单元，实时采集并存储所述微力探头单元和气体背吹控制单元中的数据，自动控制所述静电卡盘静电力检测系统。本发明进一步涉及一种应用该检测系统检测静电卡盘静电力的方法。

公开(公告)号：CN103698068A

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201310656962.8

申请日：2013-12-06

Applicant: 清华大学

Inventor： 程嘉 ,  王珂晟 ,  王兴阔 ,  季林红 ,  朱晓莹

IPC: G01L5/00 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明公开了集成电路制造领域的一种静电卡盘基本性能检测装置及其检测方法。本发明提供了一种能够准确测量静电卡盘静电吸附力、晶圆脱附时间和晶圆表面温度等技术指标的装置和方法；其中，装置由驱动装置、传动装置、拉力传感器、温度测量装置、静电卡盘、真空腔室、真空获得装置和数据采集系统组成；所述驱动装置输出直线力，克服晶圆与静电卡盘之间的静摩擦力拉动晶圆，利用摩擦学原理换算得到静电力大小和晶圆脱附时间；通过红外测温仪实时采集和读取晶圆表面温度。本发明实现了上述三种检测功能的有效集成，适应性广，可用于等离子体环境中，能有效保证真空腔室的密封性。操作方便，不会造成晶圆变形和破损，测量精度高。

公开(公告)号：CN103698068B

公开(公告)日：2014-11-12

申请号：CN201310656962.8

申请日：2013-12-06

Applicant: 清华大学

Inventor： 季林红 ,  王珂晟 ,  程嘉 ,  王兴阔 ,  徐登峰 ,  许岩 ,  张旭光 ,  杨义勇

IPC: G01L5/00 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明公开了集成电路制造领域的一种静电卡盘基本性能检测装置及其检测方法。本发明提供了一种能够准确测量静电卡盘静电吸附力、晶圆脱附时间和晶圆表面温度等技术指标的装置和方法；其中，装置由驱动装置、传动装置、拉力传感器、温度测量装置、静电卡盘、真空腔室、真空获得装置和数据采集系统组成；所述驱动装置输出直线力，克服晶圆与静电卡盘之间的静摩擦力拉动晶圆，利用摩擦学原理换算得到静电力大小和晶圆脱附时间；通过红外测温仪实时采集和读取晶圆表面温度。本发明实现了上述三种检测功能的有效集成，适应性广，可用于等离子体环境中，能有效保证真空腔室的密封性。操作方便，不会造成晶圆变形和破损，测量精度高。

公开(公告)号：CN105241599A

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201510743907.1

申请日：2015-11-05

Applicant: 清华大学

Inventor： 程嘉 ,  王珂晟 ,  张俊斌 ,  王建冲 ,  钟音 ,  路益嘉 ,  季林红

IPC: G01L5/00

Abstract: 本发明公开了一种静电卡盘静电力的检测系统，包括：一晶片；一静电卡盘，该静电卡盘具有相对设置的第一表面和第二表面，第一表面用于放置所述晶片，第二表面具有一进气口；一微力探头单元，该微力探头单元设置于所述晶片远离所述静电卡盘的一侧，用于接触所述晶片；一气体背吹控制单元，该气体背吹控制单元与所述静电卡盘的进气口连通，用于向所述静电卡盘提供气体；一自动控制与采集单元，实时采集并存储所述微力探头单元和气体背吹控制单元中的数据，自动控制所述静电卡盘静电力检测系统。本发明进一步涉及一种应用该检测系统检测静电卡盘静电力的方法。

公开(公告)号：CN205192672U

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201520875751.8

申请日：2015-11-05

Applicant: 清华大学

Inventor： 程嘉 ,  王珂晟 ,  张俊斌 ,  王建冲 ,  钟音 ,  路益嘉 ,  季林红

IPC: G01L5/00

Abstract: 本实用新型公开了一种静电卡盘静电力的检测系统，包括：一晶片；一静电卡盘，该静电卡盘具有相对设置的第一表面和第二表面，第一表面用于放置所述晶片，第二表面具有一进气口；一微力探头单元，该微力探头单元设置于所述晶片远离所述静电卡盘的一侧，用于接触所述晶片；一气体背吹控制单元，该气体背吹控制单元与所述静电卡盘的进气口连通，用于向所述静电卡盘提供气体；一自动控制与采集单元，实时采集并存储所述微力探头单元和气体背吹控制单元中的数据，自动控制所述静电卡盘静电力检测系统。

公开(公告)号：CN203657947U

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：CN201320800730.0

申请日：2013-12-06

Applicant: 清华大学

Inventor： 程嘉 ,  王珂晟 ,  王兴阔 ,  季林红 ,  朱晓莹

IPC: G01L5/00 ,  H01L21/66

Abstract: 本实用新型公开了集成电路制造领域的一种静电卡盘基本性能检测装置。所述装置由驱动装置、传动装置、拉力传感器、温度测量装置、静电卡盘、真空腔室、真空获得装置和数据采集系统组成。本装置实现了静电力大小测量、晶圆脱附时间测量和晶圆表面温度测量三项功能的综合集成；原理简单、结构紧凑，可有效节省空间；适应性广，可用于等离子体环境中，能有效保证真空腔室的密封性；操作方便，不会造成晶圆变形和破损，测量精度高。