静电卡盘静电力的检测系统及检测方法

    公开(公告)号:CN105241599A

    公开(公告)日:2016-01-13

    申请号:CN201510743907.1

    申请日:2015-11-05

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了一种静电卡盘静电力的检测系统,包括:一晶片;一静电卡盘,该静电卡盘具有相对设置的第一表面和第二表面,第一表面用于放置所述晶片,第二表面具有一进气口;一微力探头单元,该微力探头单元设置于所述晶片远离所述静电卡盘的一侧,用于接触所述晶片;一气体背吹控制单元,该气体背吹控制单元与所述静电卡盘的进气口连通,用于向所述静电卡盘提供气体;一自动控制与采集单元,实时采集并存储所述微力探头单元和气体背吹控制单元中的数据,自动控制所述静电卡盘静电力检测系统。本发明进一步涉及一种应用该检测系统检测静电卡盘静电力的方法。

    一种管道结构三维重建方法

    公开(公告)号:CN102915561A

    公开(公告)日:2013-02-06

    申请号:CN201210365683.1

    申请日:2012-09-27

    Abstract: 本发明提供三维点云建模领域中的一种管道结构三维重建方法。本发明获取管道的点云数据和地面的单位法向量;将点云数据变换到以地面的法向量为Z轴的坐标系;计算坐标变换后的点云数据的法向量;从中分离出法向量平行于地面的点云数据,并投影到平行于地面的平面上;法向量不平行于地面的点云数据,并投影到高斯球上,沿纬度方向投影到赤道上,在赤道上检测峰值点;将峰值点所在区域内的点云数据投影到峰值的方向和Z轴构成的平面上;得到点云数据构成的点云圆;通过点云圆得到管道的三维图。本发明方法最大程度地避免了噪声干扰,在没有完全获得点云数据的条件下,依然能够对点云数据进行清晰分类,且计算量小,适用于各类管道的三维重建。

    一种管道结构三维重建方法

    公开(公告)号:CN102915561B

    公开(公告)日:2015-03-04

    申请号:CN201210365683.1

    申请日:2012-09-27

    Abstract: 本发明提供三维点云建模领域中的一种管道结构三维重建方法。本发明获取管道的点云数据和地面的单位法向量;将点云数据变换到以地面的法向量为Z轴的坐标系;计算坐标变换后的点云数据的法向量;从中分离出法向量平行于地面的点云数据,并投影到平行于地面的平面上;法向量不平行于地面的点云数据,并投影到高斯球上,沿纬度方向投影到赤道上,在赤道上检测峰值点;将峰值点所在区域内的点云数据投影到峰值的方向和Z轴构成的平面上;得到点云数据构成的点云圆;通过点云圆得到管道的三维图。本发明方法最大程度地避免了噪声干扰,在没有完全获得点云数据的条件下,依然能够对点云数据进行清晰分类,且计算量小,适用于各类管道的三维重建。

    物料分选系统
    8.
    发明公开
    物料分选系统 审中-实审

    公开(公告)号:CN118768241A

    公开(公告)日:2024-10-15

    申请号:CN202411254317.8

    申请日:2024-09-06

    Abstract: 提供了一种物料分选系统。该系统包括输送装置、识别装置、喷吹装置、分选组件和出料装置。输送装置用于输送待分选的物料,直至所述物料离开所述输送装置的末端;识别装置用于识别所述输送装置上所述物料的物料信息;喷吹装置用于根据所述物料信息,将离开所述末端的至少部分物料喷吹至对应的分选通道;分选组件限定出承接所述物料的至少两个所述分选通道;出料装置包括至少两个出料设备,其中,所述至少两个出料设备与所述至少两个分选通道一一对应,用于将所述物料输送至远离所述末端的位置。所述分选组件包括缓冲结构,在具有特定物料信息的目标物料离开所述末端后,所述缓冲结构用于通过自身状态的改变来为所述目标物料提供缓冲。

    静电卡盘静电力的检测系统及检测方法

    公开(公告)号:CN105241599B

    公开(公告)日:2017-09-22

    申请号:CN201510743907.1

    申请日:2015-11-05

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了一种静电卡盘静电力的检测系统,包括:一晶片;一静电卡盘,该静电卡盘具有相对设置的第一表面和第二表面,第一表面用于放置所述晶片,第二表面具有一进气口;一微力探头单元,该微力探头单元设置于所述晶片远离所述静电卡盘的一侧,用于接触所述晶片;一气体背吹控制单元,该气体背吹控制单元与所述静电卡盘的进气口连通,用于向所述静电卡盘提供气体;一自动控制与采集单元,实时采集并存储所述微力探头单元和气体背吹控制单元中的数据,自动控制所述静电卡盘静电力检测系统。本发明进一步涉及一种应用该检测系统检测静电卡盘静电力的方法。

    静电卡盘静电力的检测系统

    公开(公告)号:CN205192672U

    公开(公告)日:2016-04-27

    申请号:CN201520875751.8

    申请日:2015-11-05

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种静电卡盘静电力的检测系统,包括:一晶片;一静电卡盘,该静电卡盘具有相对设置的第一表面和第二表面,第一表面用于放置所述晶片,第二表面具有一进气口;一微力探头单元,该微力探头单元设置于所述晶片远离所述静电卡盘的一侧,用于接触所述晶片;一气体背吹控制单元,该气体背吹控制单元与所述静电卡盘的进气口连通,用于向所述静电卡盘提供气体;一自动控制与采集单元,实时采集并存储所述微力探头单元和气体背吹控制单元中的数据,自动控制所述静电卡盘静电力检测系统。

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