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公开(公告)号：CN106646860A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201611031638.7
申请日：2016-11-18
Applicant: 清华大学
CPC classification number: G02B26/101 , G02B21/242
Abstract: 本技术方案提供的微动装置，通过压力施加装置与支撑底座来向所述第一移动台和所述第二移动台施加垂直于第一方向和第二方向的力，与具有第一夹角的所述两个第一压电陶瓷接触面，和具有第二夹角的所述两个第二压电陶瓷接触面配合工作，提高了微动装置的准直性。所述微动装置还进一步包括第三方向微动组件，从而使得所述微动装置可以实现三维移动。另外，本技术方案还提供一种采用所述微动装置的显微镜扫描头和显微镜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106646860B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN201611031638.7
申请日：2016-11-18
Applicant: 清华大学
Abstract: 本技术方案提供的微动装置，通过压力施加装置与支撑底座来向所述第一移动台和所述第二移动台施加垂直于第一方向和第二方向的力，与具有第一夹角的所述两个第一压电陶瓷接触面，和具有第二夹角的所述两个第二压电陶瓷接触面配合工作，提高了微动装置的准直性。所述微动装置还进一步包括第三方向微动组件，从而使得所述微动装置可以实现三维移动。另外，本技术方案还提供一种采用所述微动装置的显微镜扫描头和显微镜。
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公开(公告)号：CN206573778U
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201621247689.9
申请日：2016-11-18
Applicant: 清华大学
Abstract: 本技术方案提供的微动装置，通过压力施加装置与支撑底座来向所述第一移动台和所述第二移动台施加垂直于第一方向和第二方向的力，与具有第一夹角的所述两个第一压电陶瓷接触面，和具有第二夹角的所述两个第二压电陶瓷接触面配合工作，提高了微动装置的准直性。所述微动装置还进一步包括第三方向微动组件，从而使得所述微动装置可以实现三维移动。另外，本技术方案还提供一种采用所述微动装置的显微镜扫描头和显微镜。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN204714898U
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201520105259.2
申请日：2015-02-13
Applicant: 清华大学
IPC: C23C16/448 , C30B25/02
Abstract: 本实用新型涉及一种克努曾箱蒸发源装置，其包括：一加热装置，用以加热装载于坩埚内的源材料；及一电动挡板装置，用以控制蒸发源的开放与遮挡状态。本实用新型通过设置一加热装置可在坩埚处形成一均匀而稳定的温度分布，实现了蒸发源高精度的温度稳定与控制，温度最高可达1650℃。本实用新型通过设置一电动挡板装置，可通过一微小电流脉冲快速高效地控制挡板的开关状态，并可实现实验的远程操控。
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公开(公告)号：CN204550788U
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201520105258.8
申请日：2015-02-13
Applicant: 清华大学
IPC: C30B25/02
Abstract: 本实用新型涉及一种克努曾箱蒸发源，其包括：一加热装置，用以加热装载于坩埚内的源材料；及一电动挡板装置，用以控制蒸发源的开放与遮挡状态。本实用新型通过设置一加热装置可在坩埚处形成一均匀而稳定的温度分布，实现了蒸发源高精度的温度稳定与控制，温度最高可达1650℃。本实用新型通过设置一电动挡板装置，可通过一微小电流脉冲快速高效地控制挡板的开关状态，并可实现实验的远程操控。
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