公开(公告)号：CN204550788U

公开(公告)日：2015-08-12

申请号：CN201520105258.8

申请日：2015-02-13

Applicant: 清华大学

Inventor： 胡小鹏 ,  薛其坤 ,  陈曦 ,  康志新 ,  李鲁新

IPC: C30B25/02

Abstract: 本实用新型涉及一种克努曾箱蒸发源，其包括：一加热装置，用以加热装载于坩埚内的源材料；及一电动挡板装置，用以控制蒸发源的开放与遮挡状态。本实用新型通过设置一加热装置可在坩埚处形成一均匀而稳定的温度分布，实现了蒸发源高精度的温度稳定与控制，温度最高可达1650℃。本实用新型通过设置一电动挡板装置，可通过一微小电流脉冲快速高效地控制挡板的开关状态，并可实现实验的远程操控。

公开(公告)号：CN204714898U

公开(公告)日：2015-10-21

申请号：CN201520105259.2

申请日：2015-02-13

Applicant: 清华大学

Inventor： 胡小鹏 ,  薛其坤 ,  陈曦 ,  康志新 ,  李鲁新

IPC: C23C16/448 ,  C30B25/02

Abstract: 本实用新型涉及一种克努曾箱蒸发源装置，其包括：一加热装置，用以加热装载于坩埚内的源材料；及一电动挡板装置，用以控制蒸发源的开放与遮挡状态。本实用新型通过设置一加热装置可在坩埚处形成一均匀而稳定的温度分布，实现了蒸发源高精度的温度稳定与控制，温度最高可达1650℃。本实用新型通过设置一电动挡板装置，可通过一微小电流脉冲快速高效地控制挡板的开关状态，并可实现实验的远程操控。