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公开(公告)号：CN103698211B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201310718936.3
申请日：2013-12-24
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提出一种静电预加载的微纳材料力学性能检测结构，包括后屈曲式微力检测结构和静电式屈曲预加载结构,其中，静电式屈曲预加载结构在加载电压后能够利用静电作用力引发内部构件变形以实施预加载，当静电式屈曲预加载结构未实施预加载时，后屈曲式微力检测结构处于自然的无加载状态，当静电式屈曲预加载结构实施预加载时，后屈曲式微力检测结构被轴向压缩，处于预加载屈曲平衡状态，然后后屈曲式微力检测结构受到试件的轴向微力作用，预加载屈曲平衡状态发生改变，使后屈曲式微力检测结构发生放大的横向结构变化，从而实现微力检测。本发明具有尺寸小、稳定可靠，可重复使用，容易制造，对轴向微力敏感，力分辨率高，横向变形可控制等优点。
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公开(公告)号：CN1401990A
公开(公告)日：2003-03-12
申请号：CN02130912.4
申请日：2002-09-13
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种序列散斑场强度扫描位移测量方法，属光电无损检测领域。本方法由下列步骤完成：对被测物通过双光束干涉获得单调连续变化的序列散斑图；对所得的序列散斑图在时间域内用相关法划分出不同的强度统计和扫描区间；对划分好区间的序列散斑图进行强度统计平均和扫描获得该区间相位函数的主值；对获得主值相位函数区间内的序列散斑图所对应的余弦强度序列再进行六区域分割并对其强度值逐点比较，获得余弦序列所对应的相位变化周期；将主值相位和相位变化周期迭加，获得由相关划分所确定的区间中的连续位相分布；将获得的所有区间的连续相位值叠加即可完成位移场检测。采用本方法可以在不加外载波和相移系统的条件下，对时变位移场进行定量测量。
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公开(公告)号：CN105334157A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201510695549.1
申请日：2015-10-23
Applicant: 清华大学
IPC: G01N19/02
CPC classification number: G01N19/02
Abstract: 本发明公开了一种滑动摩擦系数测量装置和滑动摩擦系数测量方法。所述滑动摩擦系数测量装置包括：第一和第二位移平台；石英音叉；激励信号源，激励信号源的激励频率为石英音叉的共振频率；音叉振动信号检测器；悬臂梁，悬臂梁设在第二位移平台上，悬臂梁垂直于音叉腿的轴向，音叉腿的端面与悬臂梁的自由端的第一表面相对，音叉腿的端面用于设置滑动元件或者音叉腿的端面为滑动面，悬臂梁的自由端的第一表面用于设置摩擦元件或者悬臂梁的自由端的第一表面为摩擦面；和位移传感器。根据本发明实施例的滑动摩擦系数测量装置可以用于测量小尺度(微米、纳米)摩擦副之间的滑动摩擦系数，尤其是高频振荡摩擦条件下的滑动摩擦系数。
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公开(公告)号：CN103728074B
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201310718674.0
申请日：2013-12-24
Applicant: 清华大学
IPC: G01L5/00
Abstract: 本发明提出一种微纳材料力学性能检测结构，包括后屈曲式微力检测结构和电热式屈曲预加载结构，其中，电热式屈曲预加载结构在通电流后能够发热变形以实施预加载；当电热式屈曲预加载结构未实施预加载时，后屈曲式微力检测结构处于自然的无加载状态，当电热式屈曲预加载结构实施预加载时，后屈曲式微力检测结构被轴向压缩，处于预加载屈曲平衡状态，然后后屈曲式微力检测结构受到试件的轴向微力作用，预加载屈曲平衡状态发生改变，使后屈曲式微力检测结构发生放大的横向结构变化，从而实现微力检测。本发明具有尺寸小、稳定可靠，可重复使用，容易制造，对轴向微力敏感，力分辨率高，横向变形可控制，有预加载功能等优点。
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公开(公告)号：CN103808565A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201310718672.1
申请日：2013-12-24
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提出一种集成梳状静电预加载的微纳材料力学性能检测结构，包括后屈曲式微力检测结构和集成梳状静电式预加载结构，其中，集成梳状静电式预加载结构在其内部成对的集成梳状结构上加载电压后能够利用静电作用力引发变形以实施预加载，当集成梳状静电式预加载结构未实施预加载时，后屈曲式微力检测结构处于无加载状态，当集成梳状静电式预加载结构实施预加载时，后屈曲式微力检测结构被轴向压缩，处于预加载屈曲平衡状态，然后后屈曲式微力检测结构受到试件的轴向微力作用，使后屈曲式微力检测结构发生放大的横向结构变化，从而实现微力检测。本发明具有尺寸小、稳定可靠，可重复使用，对轴向微力敏感，力分辨率高，横向变形可控制等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103728074A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201310718674.0
申请日：2013-12-24
Applicant: 清华大学
IPC: G01L5/00
Abstract: 本发明提出一种微纳材料力学性能检测结构，包括后屈曲式微力检测结构和电热式屈曲预加载结构，其中，电热式屈曲预加载结构在通电流后能够发热变形以实施预加载；当电热式屈曲预加载结构未实施预加载时，后屈曲式微力检测结构处于自然的无加载状态，当电热式屈曲预加载结构实施预加载时，后屈曲式微力检测结构被轴向压缩，处于预加载屈曲平衡状态，然后后屈曲式微力检测结构受到试件的轴向微力作用，预加载屈曲平衡状态发生改变，使后屈曲式微力检测结构发生放大的横向结构变化，从而实现微力检测。本发明具有尺寸小、稳定可靠，可重复使用，容易制造，对轴向微力敏感，力分辨率高，横向变形可控制，有预加载功能等优点。
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公开(公告)号：CN101629885A
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200910088434.0
申请日：2009-07-07
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于微纳米级检测设备技术领域，具体涉及一种双探针微纳米力学检测系统。支架安装于底板上，在支架上安装精密一维平台，并由平台旋钮调节；精密一维平台的一端连接滑块，并在滑块下方设置滑轨；在滑轨的两侧，分别设置一个压电陶瓷；第一探针固定架一端安装在支架上，另一端连接第一探针，第二探针固定架安装在支架上，另一端连接第二探针；在支架上安装第一反射镜、第二反射镜、激光器、PSD探测器和压电陶瓷接口。所述系统可以实现加载、夹持以及微力与微变形的检测，同时能完成材料和结构的拉伸、压缩、弯曲、振动和疲劳等方式的微纳米力学实验测试，试样尺寸可以从微米到亚微米量级，微力测量范围为纳牛到微牛量级。
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公开(公告)号：CN114813383A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210548763.4
申请日：2022-05-20
Applicant: 清华大学
IPC: G01N3/14 , G01N3/06 , G01N3/04 , B23K26/362
Abstract: 本发明涉及原位拉伸装置及其制作方法，原位拉伸装置包括拉伸机构和传感机构，拉伸机构包括第一推动件和第二推动件，第一推动件和第二推动件之间用于连接试件，第一推动件或第二推动件能够向相互远离的方向运动，第一推动件或第二推动件中的一者远离另一者的一侧上设置有抵接部。传感机构包括变形体和第一基板，变形体用于与抵接部对接，变形体连接于第一基板，变形体能够相对于第一基板发生弹性形变。原位拉伸装置不需要外接载荷传感器，使用自身的传感机构即可实现对试件所受到的力的测量，且传感机构的机构简单，使用方便。通过飞秒激光加工拉伸机构和传感机构，结构稳定性强，工艺简单、成本低且效率高、不易损坏且可重复利用。
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公开(公告)号：CN105424697A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510750996.2
申请日：2015-11-05
Applicant: 清华大学
IPC: G01N21/84
CPC classification number: G01N21/84
Abstract: 本发明提出了对微米纤维进行检测的方法。该方法采用微米纤维检测系统对微米纤维进行检测，该方法包括：(1)将液滴置于所述基板上，其中，液滴含有溶剂和悬浮在溶剂中的微米纤维，微米纤维的一端与所述第一钨丝接触；(2)使第二钨丝位于微米纤维的另一端的下方；(3)使微米纤维的另一端与第二钨丝尖端接触；(4)使溶剂蒸发，以便暴露微米纤维；(5)使微米纤维发生形变，并记录在形变发生时第一钨丝的第一位移量以及在形变发生时第二钨丝的第二位移量；以及(6)基于第一位移量和第二位移量，确定微米纤维的物理参数。由此，可以实现对于单根微米纤维的拾取、位置调整、夹持、加载等操作，进而进一步提高了测试结果的准确性。
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公开(公告)号：CN102183313B
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201110066898.9
申请日：2011-03-18
Applicant: 清华大学
IPC: G01K7/04
Abstract: 本发明涉及微纳米测温技术领域，特别是一种基于电子束扫描显微镜环境下的温度测量系统及测量方法。该系统包括温度测量部分，精确定位部分、数据读出与传输部分，温度测量部分包括探针式热电偶，其前端焊接着钨丝探针；精确定位部分包括扫描电镜以及安装在扫描电镜中的微纳米操纵仪，并将探针式热电偶安装在微纳米操纵仪上；数据读出与传输部分含精密数显表、馈入装置和热电偶专用导线；热电偶专用导线与探针式热电偶连接，所读出的数据经过馈入装置从扫描电镜中导出，接入精密数显表，读出此时的待测区域温度。定位精度高，适合不同长度、宽度和面积的材料和结构的在真空环境下温度的测量。
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