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公开(公告)号:CN118763122A
公开(公告)日:2024-10-11
申请号:CN202410771539.0
申请日:2024-06-14
申请人: 清华大学
IPC分类号: H01L29/786 , H01L21/34 , H01L29/06 , H01L29/10 , H01L29/417 , H01L29/423
摘要: 本公开提供了具有C形沟道的竖直晶体管及其制造方法。该竖直晶体管包括:在衬底上方在竖直方向上依次设置的源极、栅极和漏极,源极、栅极和漏极均具有中心设置有孔的板形状,源极和漏极的孔的面积小于栅极的孔的面积;在栅极的孔的内壁上形成的栅介质,栅介质在竖直方向上具有开口向内的C形剖面;以及在竖直方向上沿源极的孔的内壁、栅介质的开口和漏极的孔的内壁延伸的半导体材料层,半导体材料层的沿开口的部分形成C形沟道。根据本公开的具有C形沟道的竖直晶体管及其制造方法,可以在晶体管中实现独立的源极和漏极接触,使得不仅可以降低光刻成本,而且可以避免后续的工艺步骤对先前形成的晶体管层性能的影响。
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公开(公告)号:CN118693163A
公开(公告)日:2024-09-24
申请号:CN202410771355.4
申请日:2024-06-14
申请人: 北京超弦存储器研究院 , 清华大学
IPC分类号: H01L29/786 , H01L21/336 , H01L29/06 , H01L29/10 , H01L29/417 , H01L29/423
摘要: 本公开提供了具有C形沟道的竖直晶体管及其制造方法。该竖直晶体管包括:在衬底上方在竖直方向上依次设置的源极、第一栅极和漏极,源极、第一栅极和漏极均具有中心设置有孔的板形状,源极和漏极的孔面积小于第一栅极的孔面积;在第一栅极的孔内壁上形成的第一栅介质,第一栅介质在竖直方向上具有开口向内的C形剖面;在竖直方向上沿源极的孔的内壁、第一栅介质的开口和漏极的孔内壁延伸的半导体材料层;在竖直方向上沿半导体材料层的内壁延伸的第二栅介质;以及在竖直方向上沿第二栅介质的内壁延伸的第二栅极,其中,半导体材料层的与第一栅介质和第二栅介质交叠的部分形成C形沟道。根据本公开可以在晶体管中实现独立的源极和漏极接触。
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公开(公告)号:CN116454388A
公开(公告)日:2023-07-18
申请号:CN202310564674.3
申请日:2023-05-18
申请人: 清华大学
IPC分类号: H01M10/0567 , H01M10/054
摘要: 本申请公开了一种用于镁离子电池的电解液及其制备方法和镁离子电池。电解液包含:非水溶剂,包括离子液体、有机溶剂中的一种或几种;电解质盐;和咪唑类添加剂,具有式(1)的结构;其中,R1和R2分别选自氢、C1‑C7的烷基中的任意一种,R1与式(1)中由C1、C2、C3所示的任意一个位置的碳原子连接。本申请的咪唑类添加剂与非水溶剂进行配合,可以促进电解质盐中的阳离子有效解离,提高离子导电率,提高包含该电解液的二次电池的动力学性能;抑制电解液中的阴离子对负极材料的钝化作用,促进镁的可逆沉积‑溶解,进而提高包含该电解液的二次电池的能量密度,提高了镁离子电池的充放电比容量和循环稳定性。
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公开(公告)号:CN114552018A
公开(公告)日:2022-05-27
申请号:CN202210139050.2
申请日:2022-02-15
申请人: 清华大学
IPC分类号: H01M10/0568 , H01M10/0569 , H01M10/054
摘要: 本申请公开了一种镁电池电解液、其制备方法及镁电池。本申请的镁电池电解液包含非水溶剂和电解质盐,所述非水溶剂选自咪唑类离子液体、吡咯类离子液体、哌啶类离子液体、醚类化合物、脂类化合物、吡啶类化合物、腈类化合物、砜类化合物和酮类化合物中的一种或多种;所述电解质盐的化学式为[MgmLinXo(HMDS)2m+n‑oRp]·Mq。本申请提供的镁电池电解液,在各组份的协同作用下具有良好的稳定性、较强的耐水抗杂质性以及优异的电化学性能,且可促进镁的可逆沉积‑溶解,降低过电位,抑制镁盐在阳极表面形成钝化层,提高镁电池的充放电比容量和循环稳定性。
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公开(公告)号:CN112885611A
公开(公告)日:2021-06-01
申请号:CN201911207320.3
申请日:2019-11-29
申请人: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
摘要: 本发明涉及一种超级电容器,包括一弹性体,依次包裹在该弹性体的外表面的一内电极、一第一电解质层及一外电极,其中,所述内电极包括一第一碳纳米管层和一NiO@MnOX复合结构,所述外电极包括一第二碳纳米管层和一Fe2O3颗粒层。
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公开(公告)号:CN114551999A
公开(公告)日:2022-05-27
申请号:CN202210134125.8
申请日:2022-02-14
申请人: 清华大学
IPC分类号: H01M10/0566 , H01M10/0568 , H01M10/054
摘要: 本申请提供了一种用于可充镁电池的电解液、其制备方法、以及包含其的可充镁电池,所述电解液包括电解质盐和非水溶剂,所述电解质盐包括[MgxM2x‑1Py][Mg(ORF)3Qz],其中,x表示1~6之间的整数,y表示1~6之间的整数,z表示0~6之间的整数,M表示‑1价离子,RF各自独立地表示部分氟化或全部氟化的C1~C6的脂肪烃基、部分氟化或全部氟化的C6~C12的芳香烃基,P和Q表示配位剂。本申请提供的电解液具有优异的电化学性能,同时所述电解液与负极之间的界面稳定性也较高。
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公开(公告)号:CN110858651A
公开(公告)日:2020-03-03
申请号:CN201810974066.9
申请日:2018-08-24
申请人: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
摘要: 一种碳纳米管复合结构的制备方法,其包括以下步骤:将多个碳纳米管分散在水中,形成一碳纳米管分散液;向所述碳纳米管分散液中加入一苯胺溶液,形成一混合液,所述苯胺溶液包括一苯胺;向所述混合液中加入一引发剂,所述苯胺在引发剂的作用下聚合为聚苯胺,并形成一碳纳米管复合结构预制体;将所述碳纳米管复合结构预制体在真空环境中冷冻干燥;以及冷冻干燥后,在保护气体下进行碳化。本发明还涉及一种利用所述制备方法制备的碳纳米管复合结构。
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