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公开(公告)号：CN107523864A
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201710893716.2
申请日：2017-09-26
申请人： 深圳市石金科技股份有限公司
摘要： 本发明公开一种多晶硅铸锭炉的组合式加热器，包括支架、顶部加热器、侧部加热器以及石墨电极组件；侧部加热器包括设置在支架侧面上的多个侧部加热模块，支架的每个侧面设置一个侧部加热模块，每个侧部加热模块由多个发热单元组合而成；每个侧部加热模块中的发热单元从下到上分成若干组加热组件；侧部加热模块在同一高度上的加热组件的总电阻值相同，同一侧部加热模块中的各个加热组件的总电阻值从下到上呈由小到大分布。所述组合式加热器能够在竖直方向上形成稳定的温度梯度，并且该温度梯度的控制更加方便和精确。本发明还公开一种多晶硅铸锭炉，该多晶硅铸锭炉在组合式加热器的作用下获得理想的温度分布梯度，从而能够获得更高品质的硅锭。
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公开(公告)号：CN107654369B
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201710880951.6
申请日：2017-09-26
申请人： 深圳市石金科技股份有限公司
摘要： 本发明公开一种石墨叶片泵转子的加工方法，包括以下步骤：(1)铣端面；(2)钻定位孔；(3)开粗；(4)钻装配孔；(5)粗铣旋片槽；(6)精铣连接板定位面；(7)精铣第一外圆；(8)精钻孔；(9)二次开粗；(10)精铣第二外圆；(11)精铣旋片槽；(12)铣断；(13)磨外圆；(14)磨平面；该加工方法能够保证转子的同轴度以及转子上的旋片槽的边角不被损害，提高了加工精度和加工效率。本发明还公开上述加工方法所使用的第一专用夹具和第二专用夹具；第一专用夹具上设有气槽，能够将工件吸紧，保证在加工过程中不会移动，保证工件的加工精度；第二专用夹具上设有吸风孔，能够将转子吸紧固定，提高转子的加工精度。
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公开(公告)号：CN107654369A
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201710880951.6
申请日：2017-09-26
申请人： 深圳市石金科技股份有限公司
CPC分类号： F04C2/34 , B24B1/00 , B24B41/06 , B28D1/00 , B28D7/04 , F04C15/00 , F04C2230/10 , F04C2230/60 , F04C2240/20
摘要： 本发明公开一种石墨叶片泵转子的加工方法，包括以下步骤：(1)铣端面；(2)钻定位孔；(3)开粗；(4)钻装配孔；(5)粗铣旋片槽；(6)精铣连接板定位面；(7)精铣第一外圆；(8)精钻孔；(9)二次开粗；(10)精铣第二外圆；(11)精铣旋片槽；(12)铣断；(13)磨外圆；(14)磨平面；该加工方法能够保证转子的同轴度以及转子上的旋片槽的边角不被损害，提高了加工精度和加工效率。本发明还公开上述加工方法所使用的第一专用夹具和第二专用夹具；第一专用夹具上设有气槽，能够将工件吸紧，保证在加工过程中不会移动，保证工件的加工精度；第二专用夹具上设有吸风孔，能够将转子吸紧固定，提高转子的加工精度。
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公开(公告)号：CN107639755B
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201710893717.7
申请日：2017-09-26
申请人： 深圳市石金科技股份有限公司
摘要： 本发明公开一种石墨叶片泵旋片的加工方法，包括以下步骤：(1)开料；(2)铣端面；(3)钻定位孔；(4)切条；(5)打磨；(7)切片。本发明能够保证旋片的加工精度，并且缩短了加工周期，提高了生产效率，成品率高。另外，本发明还公开一种上述加工方法所使用的一种锯床专用夹具和铣床专用夹具，所述锯床专用夹具具有很强的吸附力，确保在形成石墨条单元的过程中，石墨条单元不会发生移动；采用所述铣床专用夹具能够可以加工多个旋片，提高了加工效率。
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公开(公告)号：CN107639755A
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201710893717.7
申请日：2017-09-26
申请人： 深圳市石金科技股份有限公司
摘要： 本发明公开一种石墨叶片泵旋片的加工方法，包括以下步骤：(1)开料；(2)铣端面；(3)钻定位孔；(4)切条；(5)打磨；(7)切片。本发明能够保证旋片的加工精度，并且缩短了加工周期，提高了生产效率，成品率高。另外，本发明还公开一种上述加工方法所使用的一种锯床专用夹具和铣床专用夹具，所述锯床专用夹具具有很强的吸附力，确保在形成石墨条单元的过程中，石墨条单元不会发生移动；采用所述铣床专用夹具能够可以加工多个旋片，提高了加工效率。
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公开(公告)号：CN205710909U
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201620373681.0
申请日：2016-04-27
申请人： 深圳市石金科技股份有限公司
IPC分类号： C23C16/52
摘要： 本实用新型公开了一种气相沉积炉电气控制装置，该气相沉积炉电气控制装置包括变频器、伺服驱动器、调功器、第一电机、第二电机、第一变压器、加热体及主控器；变频器的一端与电源连接，变频器的另一端与第一电机连接；伺服驱动器的一端与电源连接，伺服驱动器的另一端与第二电机连接；调功器的一端与电源连接，调功器的另一端经第一变压器与加热体连接；变频器、伺服驱动器及调功器均与主控器连接。本实用新型技术方案提高气相沉积炉的自动化水平。
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公开(公告)号：CN207294938U
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201721246704.2
申请日：2017-09-26
申请人： 深圳市石金科技股份有限公司
摘要： 本实用新型公开一种多晶硅铸锭炉的组合式加热器，包括支架、顶部加热器、侧部加热器以及石墨电极组件；侧部加热器包括设置在支架侧面上的多个侧部加热模块，支架的每个侧面设置一个侧部加热模块，每个侧部加热模块由多个发热单元组合而成；每个侧部加热模块中的发热单元从下到上分成若干组加热组件；侧部加热模块在同一高度上的加热组件的总电阻值相同，同一侧部加热模块中的各个加热组件的总电阻值从下到上呈由小到大分布。组合式加热器能够在竖直方向上形成稳定的温度梯度，且该温度梯度的控制更加方便和精确。本实用新型还公开一种多晶硅铸锭炉，该多晶硅铸锭炉在组合式加热器的作用下获得理想的温度分布梯度，从而能够获得更高品质的硅锭。
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