专利检索 ap:("深圳市石金科技股份有限公司") AND inv:"康养科" 第 1 页

1.

实用新型
气相沉积炉电气控制装置有权转让

公开(公告)号：CN205710909U

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201620373681.0

申请日：2016-04-27

申请人： 深圳市石金科技股份有限公司

发明人： 康养科 , 杨水萍 , 朱佰喜 , 李文红 , 王成勇 , 周莉

IPC分类号： C23C16/52

摘要： 本实用新型公开了一种气相沉积炉电气控制装置，该气相沉积炉电气控制装置包括变频器、伺服驱动器、调功器、第一电机、第二电机、第一变压器、加热体及主控器；变频器的一端与电源连接，变频器的另一端与第一电机连接；伺服驱动器的一端与电源连接，伺服驱动器的另一端与第二电机连接；调功器的一端与电源连接，调功器的另一端经第一变压器与加热体连接；变频器、伺服驱动器及调功器均与主控器连接。本实用新型技术方案提高气相沉积炉的自动化水平。