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公开(公告)号：CN105264346A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201480031945.8
申请日：2014-05-29
申请人： 浜松光子学株式会社
CPC分类号： G02B27/0068 , A61B3/1015 , A61B3/12 , G01J1/44 , G01J9/00 , G01M11/00 , G01M11/02 , G02B3/0006 , G02B27/0927 , G02F2203/12 , G02F2203/18
摘要： 本发明提供一种自适应光学系统的角度偏离检测方法，该自适应光学系统包括：对入射至调制面上的光学像的相位进行空间调制的空间光调制器；和从上述空间光调制器接收调制后的上述光学像的波前传感器，其具有将多个透镜排列成二维状的透镜阵列以及对包含由上述透镜阵列形成的会聚光斑的光强度分布进行检测的光检测元件，该自适应光学系统基于根据上述光强度分布得到的上述光学像的波前形状对显示于上述空间光调制器的相位图案进行控制来补偿波前畸变，该自适应光学系统的角度偏离检测方法在该自适应光学系统中算出上述调制面和上述波前传感器的角度偏离量。
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公开(公告)号：CN105264429B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201480031860.X
申请日：2014-05-29
申请人： 浜松光子学株式会社
CPC分类号： G02B27/0068 , G01J9/00 , G02B26/06 , G02F2203/18
摘要： 一种自适应光学系统中，包括：空间光调制器，其对入射到包含排列成二维状的N个区域的调制面的光学像的相位进行空间调制；和从上述空间光调制器接收调制后的上述光学像的波前传感器，其具有与上述N个区域分别对应的N个透镜排列成二维状的透镜阵列和检测包含由该透镜阵列所形成的K个会聚光斑的光强度分布的光检测元件，在该自适应光学系统中，确定上述空间光调制器的上述区域与形成于上述波前传感器的上述会聚光斑的对应关系。
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公开(公告)号：CN105264428B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201480031849.3
申请日：2014-05-29
申请人： 浜松光子学株式会社
CPC分类号： G02B27/0068 , G01J9/00 , G01M11/02 , G02B26/06 , G02F1/01 , G02F1/13 , G02F2203/18
摘要： 自适应光学系统包括：对入射到调制面上的光学像的相位进行空间调制的空间光调制器；和从所述空间光调制器接收调制后的所述光学像的波前传感器，其包括由多个透镜二维状排列而成的透镜阵列，和对包含由所述透镜阵列形成的会聚光斑的光强度分布进行检测的光检测元件，所述自适应光学系统基于根据所述光强度分布得到的所述光学像的波前形状，对显示在所述空间光调制器上的相位图案进行控制来补偿波前畸变，在所述自适应光学系统中调整所述调制面与所述波前传感器的对应关系。
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公开(公告)号：CN104364700B
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：CN201380029623.5
申请日：2013-04-01
申请人： 浜松光子学株式会社
发明人： 黄洪欣
CPC分类号： G01J9/00 , A61B3/14 , G01M11/0257 , G02F1/1313 , G02F2203/18 , G02F2203/50
摘要： 本发明通过包括第一步骤～第四步骤的方法，以短时间且高精度地修正波阵面传感器的相位分布与波阵面调制元件的补偿用的相位图案的位置偏移，其中，第一步骤，使奇点生成图案显示在波阵面调制元件(12)中；第二步骤，在传感器(11)中测量调整用波阵面形状，该调整用波阵面形状为由奇点生成图案调制的光像入射到波阵面传感器(11)时的调整用波阵面形状；第三步骤，由传感器(11)中的测量结果，检测调整用波阵面形状中的奇点的位置；第四步骤，基于奇点的位置的位置偏移，调整在波阵面传感器(11)中测量的波阵面形状与在波阵面调制元件(12)中表示的补偿用的图案的位置偏移。
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公开(公告)号：CN105264428A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201480031849.3
申请日：2014-05-29
申请人： 浜松光子学株式会社
CPC分类号： G02B27/0068 , G01J9/00 , G01M11/02 , G02B26/06 , G02F1/01 , G02F1/13 , G02F2203/18
摘要： 自适应光学系统包括：对入射到调制面上的光学像的相位进行空间调制的空间光调制器；和从所述空间光调制器接收调制后的所述光学像的波前传感器，其包括由多个透镜二维状排列而成的透镜阵列，和对包含由所述透镜阵列形成的会聚光斑的光强度分布进行检测的光检测元件，所述自适应光学系统基于根据所述光强度分布得到的所述光学像的波前形状，对显示在所述空间光调制器上的相位图案进行控制来补偿波前畸变，在所述自适应光学系统中调整所述调制面与所述波前传感器的对应关系。
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公开(公告)号：CN101946202A
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200980105377.0
申请日：2009-01-13
申请人： 浜松光子学株式会社
CPC分类号： A61B3/1025 , A61B3/1015 , G01J9/00 , G02B17/0836 , G02B21/06 , G02B21/14 , G02B27/50
摘要： 观察装置(1)具备光源部(10)、二轴扫描系统(20)、波阵面调制部(30)、光分支部(40)、光检测部(50)、波阵面检测部(60)以及控制部(70)等。波阵面调制部(30)呈现补偿输入光的像差的补偿用相位图形，并且呈现将输入光分支成第一及第二光的分支用相位图形。波阵面检测部(60)接收所输入的光，检测该光的波阵面。在包括由波阵面检测部(60)对光的波阵面变形的检测、基于该检测结果由控制部(70)对相位图形的调整、由波阵面调制部(30)对相位图形的呈现在内的循环处理中，用于进行波阵面像差补偿的补偿用相位图形被反馈控制。
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公开(公告)号：CN105264346B
公开(公告)日：2018-04-13
申请号：CN201480031945.8
申请日：2014-05-29
申请人： 浜松光子学株式会社
CPC分类号： G02B27/0068 , A61B3/1015 , A61B3/12 , G01J1/44 , G01J9/00 , G01M11/00 , G01M11/02 , G02B3/0006 , G02B27/0927 , G02F2203/12 , G02F2203/18
摘要： 本发明提供一种自适应光学系统的角度偏离检测方法，该自适应光学系统包括：对入射至调制面上的光学像的相位进行空间调制的空间光调制器；和从上述空间光调制器接收调制后的上述光学像的波前传感器，其具有将多个透镜排列成二维状的透镜阵列以及对包含由上述透镜阵列形成的会聚光斑的光强度分布进行检测的光检测元件，该自适应光学系统基于根据上述光强度分布得到的上述光学像的波前形状对显示于上述空间光调制器的相位图案进行控制来补偿波前畸变，该自适应光学系统的角度偏离检测方法在该自适应光学系统中算出上述调制面和上述波前传感器的角度偏离量。
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公开(公告)号：CN105263396B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201480031891.5
申请日：2014-05-29
申请人： 浜松光子学株式会社
CPC分类号： G02B27/0068 , A61B3/1015 , A61B3/13 , A61B3/14 , G01J1/42 , G01J9/00 , G01M11/02 , G01M11/0264 , G02B26/06 , G02B27/0927 , G02F1/01 , G02F1/0121 , G02F1/133553 , G02F1/136277 , G02F2201/346 , G02F2203/12 , G02F2203/18
摘要： 自适应光学系统包括：对入射到包含排列成二维状的N个区域的调制面上的光学像的相位进行空间调制的空间光调制器；从上述空间光调制器接收调制后的上述光学像的波前传感器，该波前传感器包括由与上述N个区域分别对应的N个透镜二维状排列而成的透镜阵列，和对包含由该透镜阵列形成的M个会聚光斑的光强度分布进行检测的光检测元件，上述自适应光学系统基于根据上述光强度分布得到的上述光学像的波前形状，对显示于上述空间光调制器的相位图案进行控制来补偿波前畸变，在上述自适应光学系统中，在执行上述波前畸变的补偿时，确定上述空间光调制器的上述区域与形成于上述波前传感器的上述会聚光斑的对应关系。
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公开(公告)号：CN104364700A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201380029623.5
申请日：2013-04-01
申请人： 浜松光子学株式会社
发明人： 黄洪欣
CPC分类号： G01J9/00 , A61B3/14 , G01M11/0257 , G02F1/1313 , G02F2203/18 , G02F2203/50
摘要： 本发明通过包括第一步骤～第四步骤的方法，以短时间且高精度地修正波阵面传感器的相位分布与波阵面调制元件的补偿用的相位图案的位置偏移，其中，第一步骤，使奇点生成图案显示在波阵面调制元件(12)中；第二步骤，在传感器(11)中测量调整用波阵面形状，该调整用波阵面形状为由奇点生成图案调制的光像入射到波阵面传感器(11)时的调整用波阵面形状；第三步骤，由传感器(11)中的测量结果，检测调整用波阵面形状中的奇点的位置；第四步骤，基于奇点的位置的位置偏移，调整在波阵面传感器(11)中测量的波阵面形状与在波阵面调制元件(12)中表示的补偿用的图案的位置偏移。
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公开(公告)号：CN105264429A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201480031860.X
申请日：2014-05-29
申请人： 浜松光子学株式会社
CPC分类号： G02B27/0068 , G01J9/00 , G02B26/06 , G02F2203/18
摘要： 一种自适应光学系统中，包括：空间光调制器，其对入射到包含排列成二维状的N个区域的调制面的光学像的相位进行空间调制；和从上述空间光调制器接收调制后的上述光学像的波前传感器，其具有与上述N个区域分别对应的N个透镜排列成二维状的透镜阵列和检测包含由该透镜阵列所形成的K个会聚光斑的光强度分布的光检测元件，在该自适应光学系统中，确定上述空间光调制器的上述区域与形成于上述波前传感器的上述会聚光斑的对应关系。
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