补偿光学系统的调整方法和补偿光学系统
摘要:
本发明通过包括第一步骤~第四步骤的方法,以短时间且高精度地修正波阵面传感器的相位分布与波阵面调制元件的补偿用的相位图案的位置偏移,其中,第一步骤,使奇点生成图案显示在波阵面调制元件(12)中;第二步骤,在传感器(11)中测量调整用波阵面形状,该调整用波阵面形状为由奇点生成图案调制的光像入射到波阵面传感器(11)时的调整用波阵面形状;第三步骤,由传感器(11)中的测量结果,检测调整用波阵面形状中的奇点的位置;第四步骤,基于奇点的位置的位置偏移,调整在波阵面传感器(11)中测量的波阵面形状与在波阵面调制元件(12)中表示的补偿用的图案的位置偏移。
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