发明公开
- 专利标题: 补偿光学系统的调整方法和补偿光学系统
- 专利标题(英): Method for adjusting compensating optical system and compensating optical system
-
申请号: CN201380029623.5申请日: 2013-04-01
-
公开(公告)号: CN104364700A公开(公告)日: 2015-02-18
- 发明人: 黄洪欣
- 申请人: 浜松光子学株式会社
- 申请人地址: 日本静冈县
- 专利权人: 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人: 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人地址: 日本静冈县
- 代理机构: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 杨琦
- 优先权: 2012-127222 2012.06.04 JP
- 国际申请: PCT/JP2013/059958 2013.04.01
- 国际公布: WO2013/183341 JA 2013.12.12
- 进入国家日期: 2014-12-04
- 主分类号: G02F1/01
- IPC分类号: G02F1/01 ; A61B3/10 ; G01M11/02 ; G01J9/00
摘要:
本发明通过包括第一步骤~第四步骤的方法,以短时间且高精度地修正波阵面传感器的相位分布与波阵面调制元件的补偿用的相位图案的位置偏移,其中,第一步骤,使奇点生成图案显示在波阵面调制元件(12)中;第二步骤,在传感器(11)中测量调整用波阵面形状,该调整用波阵面形状为由奇点生成图案调制的光像入射到波阵面传感器(11)时的调整用波阵面形状;第三步骤,由传感器(11)中的测量结果,检测调整用波阵面形状中的奇点的位置;第四步骤,基于奇点的位置的位置偏移,调整在波阵面传感器(11)中测量的波阵面形状与在波阵面调制元件(12)中表示的补偿用的图案的位置偏移。
公开/授权文献
- CN104364700B 补偿光学系统的调整方法和补偿光学系统 公开/授权日:2017-12-19