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公开(公告)号：CN116246968A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202211563910.1
申请日：2022-12-07
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L21/66 , H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 本发明涉及一种检查方法，其是激光加工装置实施的检查方法，其中，具备：第一工序，对于形成有改性区域的晶圆，在背面上贴附保持构件，将该保持构件中的载置面设置于吸附台；第二工序，通过拍摄单元对设置于吸附台的晶圆输出具有透过性的光，并检测在晶圆中传播后的具有透过性的光；第三工序，基于从检测出具有透过性的光的拍摄单元输出的拍摄图像，确定晶圆的改性区域相关的状态，其中，在第一工序中，将根据改性区域距离设定了厚度的保持构件贴附到背面。
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