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公开(公告)号：CN101189701B
公开(公告)日：2010-04-21
申请号：CN200680019794.X
申请日：2006-06-01
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01J43/24
Abstract: 本发明涉及一种光电倍增器，其具有能有效地抑制电子倍增通道间的串扰，实现高检测精度的微细结构。该光电倍增器具有将内部维持在真空的外围器，在该外围器内配置有光电面(22)、电子倍增部(311)、阳极(32)。电子倍增部作为电子倍增通道具有用于对光电子进行级联倍增的沟部，阳极由分别与以壁部规定的沟部相对应的通道电极构成。特别是各通道电极(320)，其一部分被配置在被规定相应沟部的一对壁部夹着的空间内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101189701A
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN200680019794.X
申请日：2006-06-01
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01J43/24
Abstract: 本发明涉及一种光电倍增器，其具有能有效地抑制电子倍增通道间的串扰，实现高检测精度的微细结构。该光电倍增器具有将内部维持在真空的外围器，在该外围器内配置有光电面(22)、电子倍增部(311)、阳极(32)。电子倍增部作为电子倍增通道具有用于对光电子进行级联倍增的沟部，阳极由分别与以壁部规定的沟部相对应的通道电极构成。特别是各通道电极(320)，其一部分被配置在被规定相应沟部的一对壁部夹着的空间内。
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公开(公告)号：CN100594578C
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200680019795.4
申请日：2006-06-01
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J43/18
CPC classification number: H01J43/18
Abstract: 本发明涉及一种光电倍增器，其具有能实现高倍增效率的微细结构。该光电倍增器具备将内部维持在真空的外围器，在规定该外围器的内部空间的内壁面的一部分即器件搭载面(40a)上，配置有反射型光电面即光电面(22)、电子倍增部(31)、阳极(32)、电压分配部(311)。尤其是，电子倍增部由用于对来自光电面的光电子进行级联倍增的多段倍增电极构成，向这些各段倍增电极分别施加相应电压的电压分配部，和电子倍增部一起位于同一平面上。
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公开(公告)号：CN101208768B
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN200680019274.9
申请日：2006-06-01
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01J43/06
Abstract: 本发明涉及具有实现稳定的检测精度的细微结构的光电子倍增器。该光电子倍增器具内部被维持为真空的外围器，在该外围器内，配置有光电面(22)、电子倍增部(311)以及阳极(32)。特别地，配置于包围电子倍增部以及阳极的外围器的内部空间中的一个或一个以上的控制电极(320)，通过从电子倍增部的电子放出端延伸的一个或一个以上的连接部而电连接。在该结构中，通过将施加于电子倍增部的电子入射端与电子放出端之间的电压施加于电子入射端与控制电极之间，在电子倍增部，形成从光电面侧朝向阳极侧逐渐增加的电位梯度，同时使该电子倍增部的电子放出端与阳极之间具有足够的电位差，可以得到稳定的检测精度。
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公开(公告)号：CN101208768A
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200680019274.9
申请日：2006-06-01
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01J43/06
Abstract: 本发明涉及具有实现稳定的检测精度的细微结构的光电子倍增器。该光电子倍增器具内部被维持为真空的外围器，在该外围器内，配置有光电面(22)、电子倍增部(311)以及阳极(32)。特别地，配置于包围电子倍增部以及阳极的外围器的内部空间中的一个或一个以上的控制电极(320)，通过从电子倍增部的电子放出端延伸的一个或一个以上的连接部而电连接。在该结构中，通过将施加于电子倍增部的电子入射端与电子放出端之间的电压施加于电子入射端与控制电极之间，在电子倍增部，形成从光电面侧朝向阳极侧逐渐增加的电位梯度，同时使该电子倍增部的电子放出端与阳极之间具有足够的电位差，可以得到稳定的检测精度。
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公开(公告)号：CN101189700A
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN200680019795.4
申请日：2006-06-01
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J43/18
CPC classification number: H01J43/18
Abstract: 本发明涉及一种光电倍增器，其具有能实现高倍增效率的微细结构。该光电倍增器具备将内部维持在真空的外围器，在规定该外围器的内部空间的内壁面的一部分即器件搭载面(40a)上，配置有反射型光电面即光电面(22)、电子倍增部(31)、阳极(32)、电压分配部(311)。尤其是，电子倍增部由用于对来自光电面的光电子进行级联倍增的多段倍增电极构成，向这些各段倍增电极分别施加相应电压的电压分配部，和电子倍增部一起位于同一平面上。
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