光电倍增器
摘要:
本发明涉及一种光电倍增器,其具有能实现高倍增效率的微细结构。该光电倍增器具备将内部维持在真空的外围器,在规定该外围器的内部空间的内壁面的一部分即器件搭载面(40a)上,配置有反射型光电面即光电面(22)、电子倍增部(31)、阳极(32)、电压分配部(311)。尤其是,电子倍增部由用于对来自光电面的光电子进行级联倍增的多段倍增电极构成,向这些各段倍增电极分别施加相应电压的电压分配部,和电子倍增部一起位于同一平面上。
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