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公开(公告)号:CN1108400C
公开(公告)日:2003-05-14
申请号:CN99117832.7
申请日:1999-08-23
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开的去除硅单晶中重金属杂质的方法,是利用铁、铜、金等有害重金属 在金属熔体中的溶解度远大于在硅单晶中溶解度的特点,把硅单晶浸入熔化的对硅单晶载流子寿命无影响的高纯锡或镓或铝或铟或铅或它们的组合的金属熔体中,使硅单晶中的有害重金属杂质扩散到金属熔体中,而实现彻底去除硅单晶中重金属杂质之目的,该方法设备简便,操作方便。
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公开(公告)号:CN1285422A
公开(公告)日:2001-02-28
申请号:CN99117832.7
申请日:1999-08-23
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开的去除硅单晶中重金属杂质的方法,是利用铁、铜、金等有害重金属在金属熔体中的溶解度远大于在硅单晶中溶解度的特点,把硅单晶浸入熔化的对硅单晶载流子寿命无影响的高纯锡或镓或铝或铟或铅或它们的组合的金属熔体中,使硅单晶中的有害重金属杂质扩散到金属熔体中,而实现彻底去除硅单晶中重金属杂质之目的,该方法设备简便,操作方便。
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公开(公告)号:CN114325577B
公开(公告)日:2025-03-11
申请号:CN202210020888.X
申请日:2022-01-06
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种非视距定位误差修正方法与装置。本发明首先利用移动节点与多个基站之间的测距值与预测值作差,得到残差;再根据残差为各测距值赋予权重,然后通过加权最小二乘法求解定位方程组,得到出移动节点的坐标;最后执行卡尔曼滤波,得到滤波后的移动节点坐标,以及下一轮的移动节点坐标预测值。该方法仅利用测距结果,不需要接收机记录信号的波形,可避免信号特征随环境改变而变化的问题,具有计算代价小、硬件要求低的特点,可应用于室内无线定位等场合。
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公开(公告)号:CN101944553B
公开(公告)日:2012-05-09
申请号:CN201010283047.5
申请日:2010-09-16
Applicant: 浙江大学
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种硅片的铝硼共吸杂的方法,包括如下步骤:制备掺硼铝源,硅片清洗,利用镀膜技术在硅片表面形成硼铝层,一步或多步退火,硅片表层去除。本发明利用了硼相对铝在硅中有较大固溶度的特点,在铝中掺入硼,利用铝和硅的合金化过程将硼掺入到重掺层中,得到掺杂浓度很高的铝硼共吸杂层。本发明的铝硼共吸杂的方法,可以在相同退火温度下,形成更深、均匀、掺杂浓度更高的吸杂层;而且可以在较低的温度下达到其他工艺的吸杂效果,减少了高温对硅片性能的影响。本发明的铝硼共吸杂的方法具有成本低、易操作、吸杂效果好的特点,具有较大的应用前景。
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公开(公告)号:CN101944554B
公开(公告)日:2012-05-09
申请号:CN201010283048.X
申请日:2010-09-16
Applicant: 浙江大学
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种硅片的铝硼共吸杂的方法,包括如下步骤:制备掺硼铝源,硅片清洗,利用丝网印刷或旋涂技术在硅片表面形成硼铝层,一步或多步退火,硅片表层去除。本发明利用了硼相对铝在硅中有较大固溶度的特点,在铝中掺入硼,利用铝和硅的合金化过程将硼掺入到硅背面的重掺层中,得到掺杂浓度很高的铝硼共吸杂层。本发明的铝硼共吸杂的方法,可以在相同退火温度下,形成更深、均匀、掺杂浓度更高的吸杂层;而且可以在较低的温度下达到其他工艺的吸杂效果,减少了高温对硅片性能的影响。本发明的铝硼共吸杂的方法具有成本低、易操作、吸杂效果好的特点,具有较大的应用前景。
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公开(公告)号:CN101944553A
公开(公告)日:2011-01-12
申请号:CN201010283047.5
申请日:2010-09-16
Applicant: 浙江大学
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种硅片的铝硼共吸杂的方法,包括如下步骤:制备掺硼铝源,硅片清洗,利用镀膜技术在硅片表面形成硼铝层,一步或多步退火,硅片表层去除。本发明利用了硼相对铝在硅中有较大固溶度的特点,在铝中掺入硼,利用铝和硅的合金化过程将硼掺入到重掺层中,得到掺杂浓度很高的铝硼共吸杂层。本发明的铝硼共吸杂的方法,可以在相同退火温度下,形成更深、均匀、掺杂浓度更高的吸杂层;而且可以在较低的温度下达到其他工艺的吸杂效果,减少了高温对硅片性能的影响。本发明的铝硼共吸杂的方法具有成本低、易操作、吸杂效果好的特点,具有较大的应用前景。
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公开(公告)号:CN114325577A
公开(公告)日:2022-04-12
申请号:CN202210020888.X
申请日:2022-01-06
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种非视距定位误差修正方法与装置。本发明首先利用移动节点与多个基站之间的测距值与预测值作差,得到残差;再根据残差为各测距值赋予权重,然后通过加权最小二乘法求解定位方程组,得到出移动节点的坐标;最后执行卡尔曼滤波,得到滤波后的移动节点坐标,以及下一轮的移动节点坐标预测值。该方法仅利用测距结果,不需要接收机记录信号的波形,可避免信号特征随环境改变而变化的问题,具有计算代价小、硬件要求低的特点,可应用于室内无线定位等场合。
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公开(公告)号:CN108845322A
公开(公告)日:2018-11-20
申请号:CN201810672244.2
申请日:2018-06-26
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种单端钢筋长度测量装置及方法。待测量钢筋一端插入到混凝土结构体内,超声波探头连接到待测量钢筋暴露在外的一端,超声波探头经时间测量模块和单片机连接;脉冲信号源产生高斯脉冲信号,单片机控制压控振荡器产生载波信号,两组经过混频器混频后,形成一组不同载波频率的高斯包络脉冲信号发射到待测量钢筋暴露在外的端面,反射接收到的测量信号经时差测量芯片到单片机中计算获得钢筋长度。本发明测量可避免单频或窄带测量中超声信号衰减较大的影响,可以不需调整测量电路直接得到最佳的测量频率,具有测量效率高,成本低,结构简单的特点,可用于混凝土内钢筋长度测量等应用场合。
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