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公开(公告)号：CN111595821B
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202010344222.0
申请日：2020-04-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种紧凑、三波长的ICF靶丸表征系统及方法，其中，ICF靶丸表征系统包括干涉检测光路和背光投影检测光路，具体包括第一激光器、第二激光器、第三激光器、第一准直镜、第二准直镜、第三准直镜、非偏振分束镜、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、待测靶丸、第一二向色镜、第二二向色镜、第一偏振分束镜、第二偏振分束镜、监控相机、LED、成像镜、线偏振片、CCD图像传感器和电脑。利用本发明，可以实现ICF靶丸的在线表征。
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公开(公告)号：CN111043973B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201911274436.9
申请日：2019-12-12
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种氢同位素结晶高度及表面粗糙度干涉测量装置及方法，其中，装置包括干涉测量系统、位移系统和计算机处理模块；方法包括：在显微观测模式下，操控位移系统扫描拍摄整个结晶生长面，并进行图像拼接，得到全部区域图像，确认需要监控的精确位置；将测量系统观察视场对准监控区域，切换到干涉测量模式，利用干涉图条纹相位测量技术实现对待测区域生长高度及生长最终状态表面粗糙度测量。利用本发明的装置及方法，可实现对氢同位素低温结晶生长高度及表面粗糙度的非接触式测量，消除真空室玻璃、生长基底强反射光及生长过程边界断裂等对常见干涉显微系统的影响，实现高精度测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111595821A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010344222.0
申请日：2020-04-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种紧凑、三波长的ICF靶丸表征系统及方法，其中，ICF靶丸表征系统包括干涉检测光路和背光投影检测光路，具体包括第一激光器、第二激光器、第三激光器、第一准直镜、第二准直镜、第三准直镜、非偏振分束镜、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、待测靶丸、第一二向色镜、第二二向色镜、第一偏振分束镜、第二偏振分束镜、监控相机、LED、成像镜、线偏振片、CCD图像传感器和电脑。利用本发明，可以实现ICF靶丸的在线表征。
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公开(公告)号：CN111043973A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911274436.9
申请日：2019-12-12
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种氢同位素结晶高度及表面粗糙度干涉测量装置及方法，其中，装置包括干涉测量系统、位移系统和计算机处理模块；方法包括：在显微观测模式下，操控位移系统扫描拍摄整个结晶生长面，并进行图像拼接，得到全部区域图像，确认需要监控的精确位置；将测量系统观察视场对准监控区域，切换到干涉测量模式，利用干涉图条纹相位测量技术实现对待测区域生长高度及生长最终状态表面粗糙度测量。利用本发明的装置及方法，可实现对氢同位素低温结晶生长高度及表面粗糙度的非接触式测量，消除真空室玻璃、生长基底强反射光及生长过程边界断裂等对常见干涉显微系统的影响，实现高精度测量。
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公开(公告)号：CN111289469B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN202010133607.2
申请日：2020-02-28
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明公开了一种ICF靶丸内冰层折射率分布的测量装置和方法，测量装置包括光纤激光器、光纤准直镜、第一偏振分束镜、载有反射镜的PZT(压电陶瓷)、分束镜、第二偏振分束镜、待测靶丸、成像镜、线偏振片、CCD图像传感器、LED、光阑、电脑。测量方法包括：利用背光投影光路将靶丸定位好后，通过干涉光路采集靶丸的四步移相干涉图；对移相干涉图进行解相位、解包裹、以及Zernike拟合等操作，在所得的波面上选取两个相近的环带；利用基于OPD的反演方法，依次求出环带折射率、基准折射率，从而得出折射率分布；再次应用坐标转换，即得到靶丸坐标系的折射率分布。利用本发明，可以实现快速、非接触式测量。
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公开(公告)号：CN111289469A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN202010133607.2
申请日：2020-02-28
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明公开了一种ICF靶丸内冰层折射率分布的测量装置和方法，测量装置包括光纤激光器、光纤准直镜、第一偏振分束镜、载有反射镜的PZT(压电陶瓷)、分束镜、第二偏振分束镜、待测靶丸、成像镜、线偏振片、CCD图像传感器、LED、光阑、电脑。测量方法包括：利用背光投影光路将靶丸定位好后，通过干涉光路采集靶丸的四步移相干涉图；对移相干涉图进行解相位、解包裹、以及Zernike拟合等操作，在所得的波面上选取两个相近的环带；利用基于OPD的反演方法，依次求出环带折射率、基准折射率，从而得出折射率分布；再次应用坐标转换，即得到靶丸坐标系的折射率分布。利用本发明，可以实现快速、非接触式测量。
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公开(公告)号：CN211740138U
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202020094699.3
申请日：2020-01-16
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本实用新型公开了一种平面、球面、抛物面组合干涉测量装置，属于光干涉测量仪器技术领域，该装置包括：激光折返扩束系统、主干涉仪系统和成像系统；主干涉系统由偏振调制组件、面形测量组件和相位调制组件组成；偏振组件通过调整起偏器与检偏器的角度实现干涉图的对比度调节，面形测量组件根据不同待测面形调整光路结构，相位调制组件根据不同解调算法调制干涉图相位。本实用新型具有精确高效，结构紧凑，操作简单，扩束光斑均匀，对比度可调节，能够测量平面、球面、抛物面多种光学镜面，能够利用移相、傅里叶载波、正则化相位跟随法(RPT)多种解调算法的优点。
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