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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117128877B
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311394444.3
申请日：2023-10-26
Applicant: 法博思(宁波)半导体设备有限公司
IPC: G01B11/06
Abstract: 本申请公开了一种薄膜厚度检测方法、计算机及系统，涉及光学薄膜厚度测量技术领域，方法包括：通过获取光源的波长范围以及薄膜样品的折射率函数得到所有仿真反射光谱曲线和所有仿真反射光谱曲线的零点；采集实测反射光谱，并将实测反射光谱进行分解得到实测反射光谱Imf2分量的所有零点；根据评价函数获取所有仿真反射光谱曲线的零点中与实测反射光谱Imf2分量的所有零点差异最小的一组，并得到薄膜样品的实测厚度；获取CCD相机采集到的干涉图中的条纹个数；根据厚度校正公式校正薄膜样品的实测厚度，得到最终厚度。本申请提供的薄膜厚度检测方法、计算机及系统在测量厚度小于1mm的薄膜时，不仅精度高，而且还具备强大的稳定性。
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公开(公告)号：CN117213391A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202310390333.9
申请日：2023-04-13
Applicant: 法博思(宁波)半导体设备有限公司 , 上海电机学院
Abstract: 本发明公开了一种基于空间载波技术的最优系统误差设计方法，包括以下步骤：S1、获取待测镜待测表面的PV值；S2、令系统回程误差OPD所占权重与待测表面PV值所占权重相等，误差范围在±15％之间；S3、计算待测镜相对于参考镜的最优倾角α；S4、计算最优倾角α所对应的最优载波条纹数N。本发明采用上述的一种基于空间载波技术的最优系统误差设计方法，可以针对不同类型、不同规格的待测镜引入不同数量的载波条纹，将系统回程误差控制在合理范围内，使后续相位提取过程中既不会出现频谱混叠，又尽可能的保留了更多的面形信息，提升了利用SPSI技术测量面形的精度。
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公开(公告)号：CN116878407B
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311155284.7
申请日：2023-09-08
Applicant: 法博思(宁波)半导体设备有限公司
IPC: G01B11/06 , G06F18/10 , G06F18/2113 , G06F18/2131 , G06F123/02
Abstract: 本申请公开了一种基于红外干涉的外延片测厚方法及装置，涉及光学薄膜厚度测量技术领域，通过获取原始光谱信号：采用自适应光谱切除算法切除原始光谱信号中干涉质量不佳的区域，得到高质量干涉光谱信号；将高质量干涉光谱信号进行FFT变换，并将横坐标进行转换，得到厚度图；采用双层厚度提取算法对厚度图进行处理，得到外延片衬底和外延层的厚度结果。本申请不仅通过自适应光谱切割算法切除了原始光谱信号中干涉质量不佳的区域，并且通过双层厚度提取算法解决了由晶圆特殊双层结构导致的多次干涉问题，从而实现外延片衬底、外延层厚度的精确测量。
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公开(公告)号：CN117128877A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202311394444.3
申请日：2023-10-26
Applicant: 法博思(宁波)半导体设备有限公司
IPC: G01B11/06
Abstract: 本申请公开了一种薄膜厚度检测方法、计算机及系统，涉及光学薄膜厚度测量技术领域，方法包括：通过获取光源的波长范围以及薄膜样品的折射率函数得到所有仿真反射光谱曲线和所有仿真反射光谱曲线的零点；采集实测反射光谱，并将实测反射光谱进行分解得到实测反射光谱Imf2分量的所有零点；根据评价函数获取所有仿真反射光谱曲线的零点中与实测反射光谱Imf2分量的所有零点差异最小的一组，并得到薄膜样品的实测厚度；获取CCD相机采集到的干涉图中的条纹个数；根据厚度校正公式校正薄膜样品的实测厚度，得到最终厚度。本申请提供的薄膜厚度检测方法、计算机及系统在测量厚度小于1mm的薄膜时，不仅精度高，而且还具备强大的稳定性。
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公开(公告)号：CN116878407A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202311155284.7
申请日：2023-09-08
Applicant: 法博思(宁波)半导体设备有限公司
IPC: G01B11/06 , G06F18/10 , G06F18/2113 , G06F18/2131 , G06F123/02
Abstract: 本申请公开了一种基于红外干涉的外延片测厚方法及装置，涉及光学薄膜厚度测量技术领域，通过获取原始光谱信号：采用自适应光谱切除算法切除原始光谱信号中干涉质量不佳的区域，得到高质量干涉光谱信号；将高质量干涉光谱信号进行FFT变换，并将横坐标进行转换，得到厚度图；采用双层厚度提取算法对厚度图进行处理，得到外延片衬底和外延层的厚度结果。本申请不仅通过自适应光谱切割算法切除了原始光谱信号中干涉质量不佳的区域，并且通过双层厚度提取算法解决了由晶圆特殊双层结构导致的多次干涉问题，从而实现外延片衬底、外延层厚度的精确测量。
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