一种Cu-BTC单晶电阻式湿度传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN118961811A

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202411260884.4

    申请日:2024-09-10

    Abstract: 本发明公开了一种Cu‑BTC单晶电阻式湿度传感器及制备方法,属于MOFs材料传感领域。本发明的Cu‑BTC单晶电阻式湿度传感器由超快激光对Cu‑BTC单晶表面诱导加工产生的平面叉指电极和叉指指间未加工的Cu‑BTC单晶材料组成,平面电极通过以下制备:S1:制备待加工面的长宽均大于等于100μm的Cu‑BTC单晶样品;S2:利用超快激光加工装置在设定激光加工参数下对步骤S1中的Cu‑BTC单晶样品进行超快激光诱导加工,得到平面叉指电极;其中,超快激光波长为1030 nm,脉宽t为1.2 ps≤t≤10 ps,加工功率P为3 mW≤P≤8 mW,扫描速度v为200μm/s≤v≤360μm/s,加工间隔为1μm,聚焦光斑为4μm。本发明的Cu‑BTC单晶电阻式湿度传感器对湿度的检测范围可达5%~90%RH,响应时间最快可达2 s,具有良好的选择性、稳定性和循环性。

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