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公开(公告)号：CN118840591A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202410865126.9
申请日：2024-07-01
Applicant: 河南省科学院激光制造研究所
IPC: G06V10/764 , A01M21/04 , G06V10/774 , G06V10/80 , G06V10/46 , G06T7/33
Abstract: 本发明公开了一种激光除虫方法，涉及农业生物防治和激光技术领域，解决的是农田中害虫的灭杀种类较少、害虫灭杀效率较低和激光设备的操作和维护难度较高的问题；激光除虫方法，包括初始化激光除虫装置、照明设备和拍摄设备的工作参数；利用拍摄设备实时采集田间的虫卵和昆虫的图像；对图像进行预处理，并进行数据集划分；利用目标检测模型进行若干次迭代训练；获取最小检测框的中心坐标和宽高；构建实时田间地图信息并制定除虫策略；控制激光除虫装置灭杀虫卵和昆虫；通过红外图像和/或可见光图像识别的技术方案实现对昆虫和/或虫卵的识别，并使用激光进行杀灭，扩充了害虫的灭杀种类，提高了害虫灭杀效率，降低了激光设备的操作和维护难度。
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公开(公告)号：CN118650301A
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202410909732.6
申请日：2024-07-09
Applicant: 河南省科学院激光制造研究所
IPC: B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种晶圆激光隐形切割电气控制系统及方法，涉及激光隐形切割技术领域，解决的是控制系统分散繁琐，各轴运动灵活性低，普通丝杆滑台的定位精度低，超高精度丝杆滑台价格高的问题；电气控制系统，包括供配电模块、总控制模块、网络型模块和激光隐形切割模块；通过断路器、接触器、隔离变压器完成对工业机床的动力控制进行配电，通过工业控制计算机和运动控制卡利用总线控制伺服驱动器，以控制直线驱动电机或伺服电机，通过网络型模块控制激光器和功率衰减器的输入输出，通过工业控制计算机直接控制功率器、测距仪、视觉相机、空间光调制器和光源，以提高晶圆激光隐形切割控制集中性、送料简易性、检测便利性、定位精度和切割效率。
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公开(公告)号：CN119361517A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411179790.4
申请日：2024-08-27
Applicant: 河南省科学院激光制造研究所
IPC: H01L21/687 , H01L21/67
Abstract: 本发明公开了一种柔性扩晶设备，包括上部设置有晶圆片固定座的工作台，晶圆片固定座上表面上下穿设有晶圆片顶出机构，晶圆片顶出机构包括设置有第一内腔且下端开口的晶圆片定位部，第一内腔内同轴且上下滑动设置有柔性顶出部，柔性顶出部通过下方设置的第一驱动机构在第一内腔内上下移动；第一内腔内还设置有用于对晶圆片上表面施加作用力的第一压紧部，柔性顶出部上升至设定位置，待进行扩晶的晶圆片的上下表面分别与第一压紧部和柔性顶出部上表面接触；用于提供一种柔性扩晶设备，能够在扩晶的同时尽可能的保证了扩晶的均匀，减小对晶体的损伤。
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公开(公告)号：CN118789148A
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202411062244.2
申请日：2024-08-05
Applicant: 河南省科学院激光制造研究所
Abstract: 本发明公开了一种激光隐切设备的加强结构，属于激光隐切技术领域，包括花岗岩基体，花岗岩基体的后侧面固定设置有激光光束传输系统模块，花岗岩基体和激光光束传输系统模块的下端面均固定设置有支撑体，两个支撑体的底端均与基座固定设置。本发明通过设置主动减震系统，使用时，在进行切割作业时，型材架产生的振动依次通过底座、基座、位移机构、主动减震系统和顶升装置传递到晶圆载物台上，使得晶圆载物台产生振动，影响晶圆片的切割精度，此时主动减震系统通过对振动的检测，然后根据检测的振动数据主动减震系统产生与晶圆载物台产生的振动相反的振动以抵消晶圆载物台产生的振动，使得晶圆载物台更稳定，提高晶圆片切割的精度。
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