公开(公告)号：CN119361517A

公开(公告)日：2025-01-24

申请号：CN202411179790.4

申请日：2024-08-27

Applicant: 河南省科学院激光制造研究所

Inventor： 黄河 ,  江浩庆 ,  赵贺鹏 ,  胡强 ,  付梦强 ,  李易成 ,  邢金龙 ,  杨继超 ,  张正传 ,  程战涛 ,  陈鹏 ,  张孟良 ,  卢启航

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明公开了一种柔性扩晶设备，包括上部设置有晶圆片固定座的工作台，晶圆片固定座上表面上下穿设有晶圆片顶出机构，晶圆片顶出机构包括设置有第一内腔且下端开口的晶圆片定位部，第一内腔内同轴且上下滑动设置有柔性顶出部，柔性顶出部通过下方设置的第一驱动机构在第一内腔内上下移动；第一内腔内还设置有用于对晶圆片上表面施加作用力的第一压紧部，柔性顶出部上升至设定位置，待进行扩晶的晶圆片的上下表面分别与第一压紧部和柔性顶出部上表面接触；用于提供一种柔性扩晶设备，能够在扩晶的同时尽可能的保证了扩晶的均匀，减小对晶体的损伤。