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公开(公告)号：CN106638399A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201710085458.5
申请日：2017-02-17
Applicant: 河北工业大学
CPC classification number: E01H1/001 , E01H1/0827
Abstract: 本发明涉及一种陆地油品回收装置及收集方法，其特征在于该装置包括驱动部分、收集处理部分和储存部分，所述驱动部分用于产生压强差，提供抽取动力，与储存部分的排气口连接；收集处理部分用于收集待收集油品，与储存部分的进口相连；所述收集部分包括采集器、滚刷支架、滚刷、喷水管、喷头、喷水阀门、筛网和毛刷；所述采集器呈漏斗形，具有内腔，底部为进油口，顶部为出油口；在采集器底部进油口处安装有筛网，筛网与采集器底部边缘固定连接，通过筛网将采集器的内腔与外界分隔开；在筛网下表面安装有毛刷，毛刷上安装有微型电机，使毛刷能进行左右周期性摆动；在毛刷下表面安装有温度传感器；在采集器底面边缘左右两侧对称固定有两组滚刷支架。
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公开(公告)号：CN100491073C
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200610014302.X
申请日：2006-06-09
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明涉及一种ULSI多层铜布线化学机械抛光中平整度的控制方法，其特征是：在碱性条件下选取高浓度的SiO2水溶胶为磨料，用不同倍数的去离子水稀释，同时加入金属离子螯合剂、非离子表面活性剂，在抛光进行前加入氧化剂；具体实施步骤如下：首先配制抛光液：a.将粒径15nm-20nm的SiO2磨料用1-3倍的去离子水稀释；b.加入金属离子螯合剂，调整上述溶液使pH值在10-13范围内；c.边搅拌边加入1%-10%体积分数的醚醇类活性剂；d.在抛光前，边搅拌边加入1%-3%体积分数的过氧化物氧化剂，如H2O2，制成抛光液；然后在流量为1L/min-5L/min、温度为20℃-30℃、转速为60rpm-120rpm、压力为100g/cm2-250g/cm2的工艺条件下进行抛光。本发明工艺简单、效果显著。
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公开(公告)号：CN106745465A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201710085454.7
申请日：2017-02-17
Applicant: 河北工业大学
CPC classification number: C02F1/28 , C02F1/40 , C10G25/006 , C10G2300/1007
Abstract: 本发明涉及火场溢油回收净化系统及方法，其特征在于该系统包括收集部分、真空罐部分、抽取部分、脱水器部分和储油罐；收集部分的出油口与真空罐部分、抽取部分、脱水器部分和储油罐依次连接，由收集部分采集到的油水混合物经过耐高温油管到达真空罐部分中，然后被抽取部分送入脱水器部分，在脱水器部分内经过脱水处理后，将处理好的油品存入储油罐中；抽取部分用来将油水混合物送入到脱水器部分，真空罐部分用来提供压强差，进而抽取油水混合物；脱水器部分用来分离油水混合物；所述收集部分包括采集器、毛刷、滚刷和喷水头；所述采集器呈漏斗形，具有内腔，底部为进油口，顶部为出油口；在采集器顶部出油口上设置有吸油阀门。
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公开(公告)号：CN100491072C
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200610014300.0
申请日：2006-06-09
Applicant: 河北工业大学
CPC classification number: H01L21/3212 , B24B37/044 , C09G1/02 , C09K3/1463
Abstract: 本发明公开了一种ULSI多层铜布线化学机械抛光中碟形坑的控制方法，其特征是：选取SiO2水溶胶为磨料，用不同倍数的去离子水稀释，同时加入金属离子螯合剂用以调节pH为9.5-11.5，加入非离子表面活性剂，在抛光进行前加入氧化剂，进行铜抛光和铜、阻挡层、介质层抛光。所述铜抛光工艺参数为：压力200g/cm2-250g/cm2，流量200ml/min，转速100rpm-120rpm，温度30℃-40℃，抛光速率700-800nm/min，抛光时间1-5min。所述铜、阻挡层、介质层抛光工艺参数为：压力100g/cm2-150g/cm2，流量2000ml/min-4000ml/min，转速60rpm-80rpm，温度20℃-25℃，抛光速率1000-1100nm/min，抛光时间30-60sec。本发明可实现铜、阻挡层材料、介质层三者抛光速率的一致性，从而有效地降低碟形坑的出现，同时降低待加工片的表面金属离子沾污。
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公开(公告)号：CN1864925A
公开(公告)日：2006-11-22
申请号：CN200610014301.5
申请日：2006-06-09
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明涉及一种ULSI多层铜布线化学机械抛光表面粗糙度的控制方法，其特征是：在碱性条件下采用易清洗、小粒径的SiO2水溶胶为磨料，采用有机碱做pH调节剂和络合剂，并加入非离子表面活性剂配制成抛光液；包括步骤如下：首先配制抛光液：a.将粒径15－20nm的SiO2磨料用1－5倍的去离子水稀释；b.用pH调节剂有机碱调节上述溶液，使其pH值在10－12范围内；c.边搅拌边加入0.5－10％(体积分数)的醚醇类活性剂制成抛光液；然后在流量3－5L/min、温度15－25℃、转速30－120rpm、零外界压力(仅有载盘自重)的条件下进行抛光3－5min。通过碱性条件下的强络合作用和加速表面质量传递的方法，有效降低铜、阻挡层材料钽表面的粗糙度。本发明工艺简单，效果显著。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1861320A
公开(公告)日：2006-11-15
申请号：CN200610014300.0
申请日：2006-06-09
Applicant: 河北工业大学
CPC classification number: H01L21/3212 , B24B37/044 , C09G1/02 , C09K3/1463
Abstract: 本发明公开了一种ULSI多层铜布线化学机械抛光中碟形坑的控制方法，其特征是：选取SiO2水溶胶为磨料，用不同倍数的去离子水稀释，同时加入金属离子螯合剂用以调节pH为9.5－11.5，加入非离子表面活性剂，在抛光进行前加入氧化剂，在流量为200－5000mL/min、温度为20－40℃、转速为60－120rpm、压力为100－250g/cm2、抛光速率为200－1100nm/min的工艺条件下分别进行1－5min的铜抛光和30－60sec的铜、阻挡层、介质层抛光。本发明可实现铜、阻挡层材料、介质层三者抛光速率的一致性，从而有效地降低碟形坑的出现，同时降低待加工片的表面金属离子沾污，以满足工业上对铜布线CMP精密加工的要求。
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公开(公告)号：CN113268040A
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN202110477807.4
申请日：2021-04-30
Applicant: 河北工业大学
IPC: G05B19/416
Abstract: 本发明涉及一种数控机床伺服进给系统控制参数的优选方法，是基于改进人群搜索算法优化伺服进给系统控制参数的方法，步骤是：选择需要进行参数优选的数控机床电机，基于电机参数搭建相应的速度环和位置环数学模型；对参数优选模型进行初始化操作，合理设置算法参数；初始化种群，随机产生多个初始位置；计算初始位置的适应度值；在迭代循环中，以输入量与输出量之间差值的绝对值在整个优选过程中的最小累积为评价指标，对搜索者的位置进行更新并计算适应度值，直至满足条件结束；输出参数优选结果。本发明对算法求解的效率以及跳出局部最优的能力进行改善，合理、可靠地对数控机床伺服进给系统的控制参数进行优选，提高了数控机床的加工精度。
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公开(公告)号：CN106638399B
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201710085458.5
申请日：2017-02-17
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明涉及一种陆地油品回收装置及收集方法，其特征在于该装置包括驱动部分、收集处理部分和储存部分，所述驱动部分用于产生压强差，提供抽取动力，与储存部分的排气口连接；收集处理部分用于收集待收集油品，与储存部分的进口相连；所述收集部分包括采集器、滚刷支架、滚刷、喷水管、喷头、喷水阀门、筛网和毛刷；所述采集器呈漏斗形，具有内腔，底部为进油口，顶部为出油口；在采集器底部进油口处安装有筛网，筛网与采集器底部边缘固定连接，通过筛网将采集器的内腔与外界分隔开；在筛网下表面安装有毛刷，毛刷上安装有微型电机，使毛刷能进行左右周期性摆动；在毛刷下表面安装有温度传感器；在采集器底面边缘左右两侧对称固定有两组滚刷支架。
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公开(公告)号：CN100462203C
公开(公告)日：2009-02-18
申请号：CN200610014301.5
申请日：2006-06-09
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明涉及一种ULSI多层铜布线化学机械抛光表面粗糙度的控制方法，其特征是：在碱性条件下采用易清洗、小粒径的SiO2水溶胶为磨料，采用有机碱大烷基羟胺、多羟多胺类物质做pH调节剂和络合剂，并加入醚醇类活性剂配制成抛光液；包括步骤如下：首先配制抛光液：a.将粒径15nm-20nm的SiO2磨料用1-5倍的去离子水稀释；b.用pH调节剂有机碱调节上述溶液，使其pH值在10-12范围内；c.边搅拌边加入0.5%-10%体积分数的醚醇类活性剂制成抛光液；然后在流量3L/min-5L/min、温度15℃-25℃、转速30rpm-120rpm、零外界压力的条件下进行抛光3min-5min。通过碱性条件下的强络合作用和加速表面质量传递的方法，有效降低铜、阻挡层材料钽表面的粗糙度。本发明工艺简单，效果显著。
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公开(公告)号：CN106745465B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN201710085454.7
申请日：2017-02-17
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明涉及火场溢油回收净化系统及方法，其特征在于该系统包括收集部分、真空罐部分、抽取部分、脱水器部分和储油罐；收集部分的出油口与真空罐部分、抽取部分、脱水器部分和储油罐依次连接，由收集部分采集到的油水混合物经过耐高温油管到达真空罐部分中，然后被抽取部分送入脱水器部分，在脱水器部分内经过脱水处理后，将处理好的油品存入储油罐中；抽取部分用来将油水混合物送入到脱水器部分，真空罐部分用来提供压强差，进而抽取油水混合物；脱水器部分用来分离油水混合物；所述收集部分包括采集器、毛刷、滚刷和喷水头；所述采集器呈漏斗形，具有内腔，底部为进油口，顶部为出油口；在采集器顶部出油口上设置有吸油阀门。
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