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公开(公告)号：CN117847248A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202410258514.0
申请日：2024-03-07
申请人： 沈阳富创精密设备股份有限公司
IPC分类号： F16K3/02 , F16K3/314 , F16K3/30 , F16K27/04 , F16K31/122
摘要： 本发明公开一种具备可调节阀板的矩形阀门，涉及半导体用矩形阀门技术领域。该具备可调节阀板的矩形阀门，包括：阀盒，所述阀盒内部插入连接有阀板，所述阀板下端连接有一体轴，所述阀盒下端有腔体连接板，所述腔体连接板下端设置有波纹管，所述腔体连接板下表面连接有气缸固定座，所述气缸固定座下表面连接有气缸组件，所述波纹管下端连接有传动轴座，所述气缸组件下端设置有气缸连接板，所述气缸连接板中间连接有两个凸轮槽，所述传动轴座左右两表面上端连接有上端轴承，所述传动轴座左右两侧连接有下端轴承。本发明解决了现有的阀门装配复杂、密封性难以保证的问题，关闭打开时密封面会有一定的摩擦，很容易产生微小颗粒，污染腔室环境的问题。
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公开(公告)号：CN117823642A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202311604372.0
申请日：2023-11-28
申请人： 沈阳富创精密设备股份有限公司
IPC分类号： F16K1/36 , F16K1/32 , F16K27/02 , F16K31/122 , F16K31/54
摘要： 本发明公开了一种适用于半导体行业的真空矩形阀门，涉及半导体阀门技术领域。该适用于半导体行业的真空矩形阀门，包括：阀盒，所述阀盒左端设置有阀板，所述阀板左端设置有传动轴，所述传动轴左端连接有腔体连接板，所述腔体连接板左表面设置有上限位座，所述腔体连接板左表面两端连接有外壳，所述传动轴左端设置有导向支撑座，所述导向支撑座左端设置有分力轴，所述分力轴与传动轴连接，所述外壳内侧连接有斜齿条，所述斜齿条下端啮合连接有斜齿轮，所述斜齿轮内部连接有从动轴，所述导向支撑座左右两端连接有传动轴安装板，所述传动轴安装板外侧连接有深沟球轴承，所述分力座左端设置有气缸连接板，所述气缸连接板左端连接有气缸。
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公开(公告)号：CN116972185B
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202311227782.8
申请日：2023-09-22
申请人： 沈阳富创精密设备股份有限公司
IPC分类号： F16K3/02 , F16K3/30 , F16K27/04 , F16K31/122 , F16K41/10
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公开(公告)号：CN116357760A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202211684786.4
申请日：2022-12-27
申请人： 沈阳富创精密设备股份有限公司
摘要： 本发明属于半导体制造技术及真空阀门领域，具体涉及一种半导体欠驱动L型运动真空阀门。一种半导体欠驱动L型运动真空阀门，包括阀板，阀板座，真空螺钉，止推轴承，波纹管一体轴，气缸座，气缸，限位座，支点轴承，连杆座，支点连杆，连接轴，挡圈，衬套，短连杆，扭簧，气缸连接座，支撑板，封板，外壳；所述气缸上端通过螺钉与气缸座固接，气缸下端与气缸连接座连接；气缸连接座通过螺钉与连杆座连接。本发明实现阀板的竖直运动，降低制造成本，再通过平行四边形机构结合滑块压紧机构实现阀板的水平运动，保证阀板与门框密封面在完全贴合时，避免轻微摩擦产生的污染及损耗，且保证阀板及O‑ring受压均匀，保证阀的使用寿命。
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公开(公告)号：CN118173489A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202311712617.1
申请日：2023-12-13
申请人： 沈阳富创精密设备股份有限公司
IPC分类号： H01L21/683
摘要： 本发明涉及半导体核心零部件静电卡盘领域，具体涉及一种提高吸附效果的静电卡盘双电极结构，该双电极结构整体图形结构为两个尺寸一致，平面面积相等，以圆心互成对称排布的两个独立电极结构；两个独立电极结构分别为静电卡盘的正负电极；正负电极沿各自对称中心线以递增螺旋线形式结合构成；电极中心线，即递增螺旋线每180°变更一次半径进行递增；半径以R，R+1*2R，R+2*2R，R+3*2R，……R+(n‑1)*2R进行半径变更。该结构的静电卡盘电极，结构简单、对称性好，极化电荷分布均匀、吸脱附效果良好。
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公开(公告)号：CN116972185A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202311227782.8
申请日：2023-09-22
申请人： 沈阳富创精密设备股份有限公司
IPC分类号： F16K3/02 , F16K3/30 , F16K27/04 , F16K31/122 , F16K41/10
摘要： 本发明公开了一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，涉及真空矩形阀门技术领域。该用于半导体的真空低振动阀门，包括外框架，所述外框架上端设置有真空腔体，所述真空腔体下端连接有腔体连接板，所述真空腔体内部设置有阀门板，所述阀门板下端连接有波纹管一体轴，所述腔体连接板下表面两侧设置有气动固定座，所述气动固定座下端连接有气动组件，所述气动组件下端连接有连接座，所述连接座上端设置有连杆支撑板，所述连杆支撑板与连接座内部固定连接有下滑块，所述限位块下端设置有花键轴，所述花键轴外表面包裹有弹簧，所述花键轴外表面一周设置有上滑块，所述连杆支撑板上表面前端设置有四个转动底座，所述摆动杆与转动底座连接处设置有转动轴。
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公开(公告)号：CN116357802A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202210917372.5
申请日：2022-08-01
申请人： 沈阳富创精密设备股份有限公司
IPC分类号： F16K51/02 , F16K31/04 , F16K3/02 , F16K3/314 , F16K31/524
摘要： 本发明是一种适用于半导体行业的真空矩形阀门，主要包括动力组件、升降组件、外壳组件、腔体组件构成；用于连接传输腔室与反应腔室的机构装置，或用于密封真空腔体。通过设计空间凸轮及轨道结构，输入为旋转动力源电机或转动气缸，实现了阀门的稳定上升及水平关闭，通过设计合理的升降路径及方式，规避了由振动产生污染颗粒的可能。实现阀门轴的升降及水平关闭，确保阀门在关闭时不会产生摩擦，且通过空间凸轮及轨道原理实现了动作周期内的顺滑运动。本发明具有结构简便、装配简单、维护方便等优势。
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公开(公告)号：CN117869605A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202410269488.1
申请日：2024-03-11
申请人： 沈阳富创精密设备股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种用于半导体工艺腔室密封的单缸驱动真空矩形阀门，涉及半导体真空阀技术领域。该阀门，包括：阀板，所述阀板后表面连接有阀板座，所述腔体连接板下表面连接有固定座，所述侧板下端连接有气缸安装板，所述气缸安装板上端设置有气缸连接座，所述腔体连接板与气缸安装板之间设置有传动轴座，所述阀板座中间连接有传动轴，所述传动轴下端设置有传动轴螺母，所述气缸连接座上表面左右两侧连接有凸轮槽，所述传动轴座左右两侧连接有轴承，所述气缸安装板下端连接有气缸包板，所述气缸包板内部连接气缸组件，所述气缸组件上侧输出端连接有气缸上板。本发明阀门实现可以平稳关闭，不产生摩擦，降低振动现象，防止了微小颗粒的产生。
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公开(公告)号：CN117704138A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202311533960.X
申请日：2023-11-17
申请人： 沈阳富创精密设备股份有限公司
IPC分类号： F16K31/44 , F16K31/122 , F16K3/30
摘要： 本发明公开了一种基于丝杠驱动的真空新型阀门，涉及半导体真空阀技术领域。该基于丝杠驱动的真空新型阀门，包括：腔体，所述腔体下端设置有阀板，所述阀板下端设置有阀壳连接板，所述阀壳连接板下端设置有升降轴，所述升降轴上端与阀板连接，所述阀壳连接板下端两侧连接有动力固定架，所述动力固定架下端连接有气缸，所述动力固定架一侧连接有两侧外壳，所述升降轴下端连接有中心固定架，的前表面连接有转接板，所述转接板前表面连接有齿条，所述齿条左右两侧连接有直齿轮，所述直齿轮内部连接有丝杆，所述升降轴前表面下端连接有丝杆螺母，所述齿条前表面连接有推力板，所述推力板下端连接有传递板，所述中心固定架下表面两端连接有弹簧。
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公开(公告)号：CN115890208A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202110918958.9
申请日：2021-08-11
申请人： 沈阳富创精密设备股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种摆动式真空矩形阀门的装配工装，包括弹簧压缩保持工装、传动轴组件不扭转工装、活塞杆长度保持工装和矩形阀门的腔体设置板；所述弹簧压缩保持工装包括支撑轴、第一转接板、连接板和螺杆。本发明通过设计弹簧压缩保持工装，大大提高了弹簧安装效率及安全性，从而为后续装配提供良好的装配环境与基础，此外本发明结构简单，操作方便；通过设计传动轴组件不扭转工装，确保了运动部件装配的准确性与精度，保证了装配过程各个部件的相互配合关系；通过设计活塞杆长度保持工装，设计特定长度的结构件，确保两个活塞杆在最长行程时进行装配，保证了阀门的稳定关闭与打开，同时降低了初始装配后机构的内部受力情况。
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