公开(公告)号：CN117869605A

公开(公告)日：2024-04-12

申请号：CN202410269488.1

申请日：2024-03-11

申请人： 沈阳富创精密设备股份有限公司

发明人： 李加平 ,  孙晓恒 ,  辛洪旭 ,  姜小蛟

IPC分类号： F16K3/02 ,  F16K3/30 ,  F16K3/314 ,  F16K31/12 ,  F16F15/02

摘要： 本发明公开了一种用于半导体工艺腔室密封的单缸驱动真空矩形阀门，涉及半导体真空阀技术领域。该阀门，包括：阀板，所述阀板后表面连接有阀板座，所述腔体连接板下表面连接有固定座，所述侧板下端连接有气缸安装板，所述气缸安装板上端设置有气缸连接座，所述腔体连接板与气缸安装板之间设置有传动轴座，所述阀板座中间连接有传动轴，所述传动轴下端设置有传动轴螺母，所述气缸连接座上表面左右两侧连接有凸轮槽，所述传动轴座左右两侧连接有轴承，所述气缸安装板下端连接有气缸包板，所述气缸包板内部连接气缸组件，所述气缸组件上侧输出端连接有气缸上板。本发明阀门实现可以平稳关闭，不产生摩擦，降低振动现象，防止了微小颗粒的产生。

公开(公告)号：CN116357760A

公开(公告)日：2023-06-30

申请号：CN202211684786.4

申请日：2022-12-27

申请人： 沈阳富创精密设备股份有限公司

发明人： 辛洪旭 ,  李加平 ,  姜小蛟 ,  谭晓东 ,  杨建辉

IPC分类号： F16K3/18 ,  F16K3/30 ,  F16K3/314 ,  F16K27/04 ,  F16K31/12

摘要： 本发明属于半导体制造技术及真空阀门领域，具体涉及一种半导体欠驱动L型运动真空阀门。一种半导体欠驱动L型运动真空阀门，包括阀板，阀板座，真空螺钉，止推轴承，波纹管一体轴，气缸座，气缸，限位座，支点轴承，连杆座，支点连杆，连接轴，挡圈，衬套，短连杆，扭簧，气缸连接座，支撑板，封板，外壳；所述气缸上端通过螺钉与气缸座固接，气缸下端与气缸连接座连接；气缸连接座通过螺钉与连杆座连接。本发明实现阀板的竖直运动，降低制造成本，再通过平行四边形机构结合滑块压紧机构实现阀板的水平运动，保证阀板与门框密封面在完全贴合时，避免轻微摩擦产生的污染及损耗，且保证阀板及O‑ring受压均匀，保证阀的使用寿命。

公开(公告)号：CN219827760U

公开(公告)日：2023-10-13

申请号：CN202223520294.X

申请日：2022-12-28

申请人： 沈阳富创精密设备股份有限公司

发明人： 李加平 ,  姜小蛟 ,  谭晓东 ,  辛洪旭 ,  杨建辉

IPC分类号： F16K1/48

摘要： 本实用新型是一种适用于真空门阀的阀板自由度调节机构，包括阀板、阀板转接件、波形弹簧、真空螺钉一、真空螺钉二、推力轴承、传动轴；所述阀板通过两侧真空螺钉一安装在阀板转接件上，其中阀板背面具有螺纹孔，所述波形弹簧预压缩安装在阀板与阀板转接件中间；在真空螺钉一与阀板转接件中间安装推力轴承；所述传动轴与阀板转接件通过真空螺钉二组装在一起；在凸柱的端面具有容纳真空螺钉二的螺纹孔。解决门阀在关闭时由于误差导致的阀板与密封面贴合不紧密问题。安装预压紧的波形弹簧、弹簧与转接结构，通过调节螺钉扭矩，实现阀板两侧距离安装面的距离调节，进而实现密封压缩量调整及旋转自由度调节。大大规避了在调节过程中污染颗粒的产生。