本发明属于半导体制造技术及真空阀门领域，具体涉及一种半导体欠驱动L型运动真空阀门。一种半导体欠驱动L型运动真空阀门，包括阀板，阀板座，真空螺钉，止推轴承，波纹管一体轴，气缸座，气缸，限位座，支点轴承，连杆座，支点连杆，连接轴，挡圈，衬套，短连杆，扭簧，气缸连接座，支撑板，封板，外壳；所述气缸上端通过螺钉与气缸座固接，气缸下端与气缸连接座连接；气缸连接座通过螺钉与连杆座连接。本发明实现阀板的竖直运动，降低制造成本，再通过平行四边形机构结合滑块压紧机构实现阀板的水平运动，保证阀板与门框密封面在完全贴合时，避免轻微摩擦产生的污染及损耗，且保证阀板及O‑ring受压均匀，保证阀的使用寿命。