具有低温交联和低弹性模量的感光性聚酰亚胺组合物、固化物和电子部件

    公开(公告)号:CN116430673A

    公开(公告)日:2023-07-14

    申请号:CN202310403373.2

    申请日:2023-04-14

    IPC分类号: G03F7/004 G03F7/20

    摘要: 本发明涉及感光性介电材料技术领域,具体而言,涉及具有低温交联和低弹性模量的感光性聚酰亚胺组合物、固化物和电子部件。感光性聚酰亚胺组合物含有下述成分(a)可溶于碱性水溶液的嵌段聚合物;其选自下述结构式所示的化合物其中,k+m=5~200,k/m=0.1~0.5;Ar1为4价有机基团;Ar2为2价有机基团;Ar3为4价有机基团;V为二胺残基;(b)光敏剂;(c)热交联剂,其中,其含有成分(C1)含有环氧基的交联剂和成分(C2)含有CH2OR的交联剂。该感光性聚酰亚胺组合物具有优异的灵敏度和分辨率,能够有效地复制精细的图案,且固化形成的膜低翘曲应力、低弹性模量和高化学稳定性。

    感光性聚酰亚胺组合物、固化物和电子部件

    公开(公告)号:CN116414001A

    公开(公告)日:2023-07-11

    申请号:CN202310403034.4

    申请日:2023-04-14

    摘要: 本发明涉及感光性介电材料技术领域,具体而言,涉及感光性聚酰亚胺组合物、固化物和电子部件。感光性聚酰亚胺组合物含有下述成分(a)、(b)、(c)和(d):其中,(a)可溶于碱性水溶液的嵌段聚合物;其选自下述式1所示化合物:式1,其中,R选自未取代烷基的一种,Ar1选自4价有机基团,Ar2选自2价有机基团,Ar3选自4价有机基团;k+m=5~200,m/k=0.01~0.5;(b)光敏剂;(c)热交联剂;(d)硅烷偶联剂。该感光性聚酰亚胺组合物能够有效地复制精细的图案,且具有显影留膜率高,固化后具有优异的耐化学稳定性和优异的密合性。

    感光性聚酰亚胺组合物、图形的制造方法、固化物和电子部件

    公开(公告)号:CN115826360A

    公开(公告)日:2023-03-21

    申请号:CN202211663749.5

    申请日:2022-12-23

    摘要: 本发明涉及感光性树脂技术领域,具体而言,涉及感光性聚酰亚胺组合物、图形的制造方法、固化物和电子部件。感光性聚酰亚胺组合物包括以下成分(a)可溶于碱性水溶液的聚合物;(b)光引发剂;(c)具有可聚合官能团的化合物,其中,具有可聚合官能团的所述化合物选自多官能丙烯酸酯类化合物以及分子量不足1000的低分子量酰亚胺类化合物中的至少一种;(d)热交联剂。该感光性聚酰亚胺组合物未曝光于紫外光的部分易溶于碱性水溶液,而已曝光于紫外光的部分不溶于碱性水溶液,因而能够有效地复制精细的图案。此外,本发明的感光性聚酰亚胺组合物即使在低温固化下依然具备高耐热性和优异的耐化学药品性。

    一种感光性聚酰亚胺组合物、图形的制造方法及电子部件

    公开(公告)号:CN117055293A

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN202210495081.1

    申请日:2022-05-07

    IPC分类号: G03F7/027 G03F7/038 G03F7/20

    摘要: 本发明提供一种感光性聚酰亚胺组合物、图形的制造方法及电子部件,所述感光性聚酰亚胺组合物含有下述成分(a)、(b)、(c)和(d):(a)可溶于碱性水溶液的聚合物,(b)光聚合反应引发剂,(c)具有可聚合官能团的化合物,所述可聚合官能团包括不饱和的双键或三键,(d)热交联剂。本发明的感光性聚酰亚胺组合物未曝光于紫外光的部分易溶于碱性水溶液,而已曝光于紫外光的部分不溶于碱性水溶液,因而能够有效地复制精细的图案。此外,本发明的感光性聚酰亚胺组合物未曝光部分与曝光部分的溶解速度比(对比度)优异,并具有良好的分辨率、密合性、化学耐受性、以及保存稳定性。

    感光性聚酰亚胺组合物、固化物和电子部件

    公开(公告)号:CN116609999A

    公开(公告)日:2023-08-18

    申请号:CN202310403361.X

    申请日:2023-04-14

    摘要: 本发明涉及感光性介电材料技术领域,具体而言,涉及感光性聚酰亚胺组合物、固化物和电子部件。感光性聚酰亚胺组合物,其包括以下成分:(a)可溶于碱性水溶液的嵌段聚合物;其结构式下述式1所示:其中,k+m=5‑200,m/k=0.01‑0.5;Ar1选自4价有机基团,Ar2选自2价有机基团,Ar3选自4价有机基团;(b)光敏剂;(c)热交联剂。该感光性聚酰亚胺组合物可采用碱性水溶液显影,能够有效地复制精细的图案,显影后留膜率高,固化后具有优异的耐化学稳定性、具有优异的固化残膜率以及良好的密合性,且固化温度低。

    感光性聚酰亚胺组合物、图形的制造方法、固化物和电子部件

    公开(公告)号:CN115826360B

    公开(公告)日:2023-09-12

    申请号:CN202211663749.5

    申请日:2022-12-23

    摘要: 本发明涉及感光性树脂技术领域,具体而言,涉及感光性聚酰亚胺组合物、图形的制造方法、固化物和电子部件。感光性聚酰亚胺组合物包括以下成分(a)可溶于碱性水溶液的聚合物;(b)光引发剂;(c)具有可聚合官能团的化合物,其中,具有可聚合官能团的所述化合物选自多官能丙烯酸酯类化合物以及分子量不足1000的低分子量酰亚胺类化合物中的至少一种;(d)热交联剂。该感光性聚酰亚胺组合物未曝光于紫外光的部分易溶于碱性水溶液,而已曝光于紫外光的部分不溶于碱性水溶液,因而能够有效地复制精细的图案。此外,本发明的感光性聚酰亚胺组合物即使在低温固化下依然具备高耐热性和优异的耐化学药品性。