本发明涉及感光性介电材料技术领域，具体而言，涉及具有低温交联和低弹性模量的感光性聚酰亚胺组合物、固化物和电子部件。感光性聚酰亚胺组合物含有下述成分(a)可溶于碱性水溶液的嵌段聚合物；其选自下述结构式所示的化合物其中，k+m＝5～200，k/m＝0.1～0.5；Ar1为4价有机基团；Ar2为2价有机基团；Ar3为4价有机基团；V为二胺残基；(b)光敏剂；(c)热交联剂，其中，其含有成分(C1)含有环氧基的交联剂和成分(C2)含有CH2OR的交联剂。该感光性聚酰亚胺组合物具有优异的灵敏度和分辨率，能够有效地复制精细的图案，且固化形成的膜低翘曲应力、低弹性模量和高化学稳定性。