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公开(公告)号：CN102420245A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201010294882.9
申请日：2010-09-28
Applicant: 比亚迪股份有限公司
IPC: H01L29/74 , H01L29/10 , H01L21/332
CPC classification number: H01L29/87
Abstract: 本发明提供了一种用于ESD防护的低电压触发硅控整流器，属于ESD防护硅控整流器领域。该低电压触发硅控整流器在现有低电压触发硅控整流器的基础上，在栅氧化层与漏极N型掺杂区之间加入一个场氧结构，消除了硅控整流器漏极的LDD结构。另外，本发明还提供了一种用于ESD防护的低电压触发硅控整流器的制造方法。本发明的低电压触发硅控整流器在不增加工艺步骤的前提下，消除了硅控整流器漏极的LDD结构，达到了提高ESD防护能力的目的。同时在ESD防护过程中功耗较低、发热量小。
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