-
公开(公告)号：CN118522712B
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202410341183.7
申请日：2024-03-25
Applicant: 武汉大学
IPC: H01L23/485 , H01L23/498 , H01L21/48 , H01L21/768
Abstract: 本发明涉及半导体封装技技术领域，提供了一种芯片及其制备方法，其中，芯片包括基板、多个绝缘层以及多个再布线层；多个绝缘层敷设在基板上，多个绝缘层依次叠设，每个绝缘层上设有多个凹槽、多个限位腔体和多个微铜柱；多个凹槽设于绝缘层远离基板的一侧；每个限位腔体位于凹槽靠近基板的一侧，且与凹槽连通；多个微铜柱与多个凹槽一一对应设置，每个微铜柱填充在对应的凹槽和对应的限位腔体内；多个再布线层与多个绝缘层一一对应设置，每个再布线层设于绝缘层远离基板的一侧，且与凹槽上的多个微铜柱连接，限位腔体对微铜柱起到了进一步限位的作用，加固了微铜柱，微铜柱又与再布线层连接，提高了再布线层与绝缘层之间的连接强度。
-
公开(公告)号：CN118913122A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202410898532.5
申请日：2024-07-05
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明提供一种硅材表面应变快速无损非接触测量装置及测量方法，包括：飞秒激光器，用于产生飞秒激光脉冲；时域拉伸组件，设置在飞秒激光器的出射光路上；光信号放大组件，设置在时域拉伸组件的出射光路上；分束器，位于光信号放大组件的出射光路上，用于将所述飞秒激光脉冲分为具有特定功率比的测试光束与参考光束；空间分散组件，设置在分束器测试光束的出射光路上；显微物镜，设置于空间分散组件的出射光路上；高速光电探测器，位于分束器参考光束的出射光路上；高速示波器，与所述高速光电探测器电连接；数据处理装置，与高速示波器电连接。本发明用于解决现有技术对散斑的强依赖和检测帧数低的问题。
-
公开(公告)号：CN111157213A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN202010081911.7
申请日：2020-02-06
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明涉及X射线检测技术，具体涉及一种微电子产品跌落损伤实时监测装置及方法，该装置包括电子产品样品，包括冲击实验机和高速X射线成像系统；冲击实验机包括电磁释放器、测速装置、缓冲装置、基座、夹具、两条导轨和冲击板；X射线成像系统包括X射线发生装置、图像增强器、CCD相机、图像采集装置和数据分析装置；X射线发生装置正对电子产品样品；图像增强器与X射线发生装置处于同一直线；CCD相机依次连接图像采集装置、数据分析装置。该装置采用高速X射线技术实时监测经跌落冲击后电子产品失效点的分布，能够及时发现不合格的失效产品，也为产品零部件材料的选择，外形设计方面提供可靠的参考，从而提高产品合格率，降低生产成本。
-
公开(公告)号：CN110645903A
公开(公告)日：2020-01-03
申请号：CN201910985966.8
申请日：2019-10-17
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明属于封装模块监测技术领域，公开了一种封装模块翘曲变形及缺陷立体在线监测方法及装置，通过投影云纹模块获得待测封装模块样品的第一翘曲信息，通过超声波模块获得待测封装模块样品的第二翘曲信息，根据第一翘曲信息、第二翘曲信息获得监测结果信息。本发明解决了现有技术中无法对封装模块的翘曲变形及缺陷进行在线监测的问题，能够对电子器件的封装模块的失效情况进行在线监测。
-
公开(公告)号：CN115014569B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202210200501.9
申请日：2022-03-02
Applicant: 武汉大学
IPC: G01K11/12
Abstract: 本发明属于高速测温技术领域，公开了一种基于飞秒激光对透光物体的超快测温装置及方法。本发明通过标定获得观测的透光物体的透射率和温度之间函数关系，通过飞秒激光器产生第一功率、第一波长的飞秒脉冲，在第一显微物镜的出射光路上对到达观测对象前的入射脉冲的功率进行测量得到入射功率，对经过观测对象后的透射脉冲的功率进行测量得到接收功率，基于入射功率和接收功率得到观测对象的实时透射率，结合标定得到的函数关系和实时透射率得到观测对象的实时温度分布信息。本发明装置结构简单，操作方便，能够以高于106Hz的采样速率获取透光物体的瞬时温度分布。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114812850B
公开(公告)日：2023-02-24
申请号：CN202210200748.0
申请日：2022-03-02
Applicant: 武汉大学
IPC: G01K11/125
Abstract: 本发明属于高速测温技术领域，公开了一种基于飞秒激光对不透光物体的超快测温装置及方法。本发明通过标定获得观测的不透光物体的反射率和温度之间函数关系，对到达观测对象前的入射脉冲的功率进行测量得到入射功率，将相同功率和波长的飞秒激光通过包括时域拉伸组件、空间分散组件等多个光学装置后聚焦到不透光物体上，反射脉冲经环形器改变传输方向后聚焦至光电探测器并测量得到接收功率，基于入射功率和接收功率得到观测对象的实时反射率，结合标定得到的函数关系和实时反射率得到观测对象的实时温度分布信息。本发明装置结构简单，操作方便，能够以高于106Hz的采样速率获取不透光物体的瞬时温度分布。
-
公开(公告)号：CN114812850A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210200748.0
申请日：2022-03-02
Applicant: 武汉大学
IPC: G01K11/125
Abstract: 本发明属于高速测温技术领域，公开了一种基于飞秒激光对不透光物体的超快测温装置及方法。本发明通过标定获得观测的不透光物体的反射率和温度之间函数关系，对到达观测对象前的入射脉冲的功率进行测量得到入射功率，将相同功率和波长的飞秒激光通过包括时域拉伸组件、空间分散组件等多个光学装置后聚焦到不透光物体上，反射脉冲经环形器改变传输方向后聚焦至光电探测器并测量得到接收功率，基于入射功率和接收功率得到观测对象的实时反射率，结合标定得到的函数关系和实时反射率得到观测对象的实时温度分布信息。本发明装置结构简单，操作方便，能够以高于106Hz的采样速率获取不透光物体的瞬时温度分布。
-
公开(公告)号：CN111495883B
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202010334669.X
申请日：2020-04-24
Applicant: 武汉大学
IPC: B08B7/00 , B23K26/0622 , B23K26/046 , B23K26/064 , B23K26/70 , B23K26/142
Abstract: 本发明提供了一种效果好，效率高，可以实时监测去氧化程度的辐射探测器Be窗口去氧化处理装置及方法，装置包括：样品室；驱动部；脉冲激光器，发射大功率激光对Be窗口样品表面的氧化物进行烧蚀；第一光学聚焦成像部，将大功率激光聚焦对准Be窗口样品；飞秒及准分子激光器，发射小功率激光对烧蚀后的区域进行填充扫描产生气溶胶；第二光学聚焦成像部，将小功率激光聚焦对准Be窗口样品的烧蚀区域；送气部，与样品室相连通，向样品室内送入惰性保护气体，并将飞秒及准分子激光器填充扫描后产生的气溶胶吹送向样品室的出气口；监测判断部，对气溶胶的元素含量情况进行监测，并根据监测结果判断是否还需要进一步烧结；以及控制部。
-
公开(公告)号：CN111495883A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010334669.X
申请日：2020-04-24
Applicant: 武汉大学
IPC: B08B7/00 , B23K26/0622 , B23K26/046 , B23K26/064 , B23K26/70 , B23K26/142
Abstract: 本发明提供了一种效果好，效率高，可以实时监测去氧化程度的辐射探测器Be窗口去氧化处理装置及方法，装置包括：样品室；驱动部；脉冲激光器，发射大功率激光对Be窗口样品表面的氧化物进行烧蚀；第一光学聚焦成像部，将大功率激光聚焦对准Be窗口样品；飞秒及准分子激光器，发射小功率激光对烧蚀后的区域进行填充扫描产生气溶胶；第二光学聚焦成像部，将小功率激光聚焦对准Be窗口样品的烧蚀区域；送气部，与样品室相连通，向样品室内送入惰性保护气体，并将飞秒及准分子激光器填充扫描后产生的气溶胶吹送向样品室的出气口；监测判断部，对气溶胶的元素含量情况进行监测，并根据监测结果判断是否还需要进一步烧结；以及控制部。
-
公开(公告)号：CN118913123A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202410898533.X
申请日：2024-07-05
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明提供一种硅材内部应变快速无损非接触测量装置及测量方法，包括：近红外飞秒激光器，用于产生近红外飞秒激光脉冲；时域拉伸组件，其与所述近红外飞秒激光器相连；光信号放大组件，其与时域拉伸组件相连；第一空间分散组件，其设置在光信号放大组件的出射光路上；显微物镜件，其设置于空间分散组件的出射光路上；第二空间分散组件，其设置在显微物镜件的出射光路上；高速光电探测器，其位于第二空间分散组件的出射光路上；高速示波器，其与所述高速光电探测器电连接；数据处理装置，其与所述高速示波器电连接，用于将采样得到的模拟电信号进行处理计算获得待测样品内部的应变。本发明用于解决现有技术对散斑的强依赖和检测帧数低的问题。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
37
records
(took 0.024 seconds)
