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公开(公告)号：CN104246967A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201280065357.7
申请日：2012-10-08
Applicant: 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC classification number: H03K3/012 , C23C14/3485 , C23C14/352 , C23C14/54 , H01J37/3467
Abstract: 本发明涉及一种用于提供用于PVD雾化阴极的功率脉冲的方法，PVD雾化阴极包括功率吸收部件和部分阴极，其中在发生器的功率建立间隔期间在功率吸收部件上降低功率并且接着在部分阴极上降低功率，其中如此切换，使得不必中断从提供功率的发生器提取功率。
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