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公开(公告)号：CN1089895C
公开(公告)日：2002-08-28
申请号：CN96107577.5
申请日：1996-05-29
Applicant: 横河电机株式会社
CPC classification number: G01L13/025 , G01L9/0054 , G01L9/045 , G01L15/00
Abstract: 一种半导体差示压力测量装置，包括使用微加工技术安设在半导体基片上的两个测量膜片和两个检测传感器，以及计算这两个传感器之间的输出差的计算电路。此外，计算电路可以被布置成仅仅使用至少一个第一传感器和一个第二传感器(各在一个测量膜片上)来构成所需要的桥式电路，以减少制作成本。
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